Vad används kvarts till i halvledare?

Inom halvledartillverkningsområdet, stegen från kiselkristalltillväxt till oxidationsdiffusion, från etsning till rengöring, är kvartsstrukturkomponenterna involverade i hela processen. Med utvecklingen av avancerade processer blir toleransen för kontaminering av metallföroreningar och partiklar allt lägre för varje steg.

Desyntes kvartshar siffrorna som hög renhet, icke bubbla, inga inneslutningspartiklar, hög UV-transmittans, etc. Det gör att den gradvis ersätter de traditionella naturliga kvartsmaterialen i avancerade tillverkningsprocesser, vilket avsevärt kan förbättra utbytet och förlänga livslängden.

01 Etsring

Under bombardemang av plasma (som innehåller mycket reaktiva fluor- och klorbaserade gaser) kräver material extremt hög kemisk tröghet och korrosionsbeständighet. Samtidigt måste kvartsmaterial ha extremt hög renhet för att förhindra partikelkontamination från att etsas. Etsringar är förbrukningsbara komponenter; för närvarande använder de flesta utrustningar naturlig kvarts. Vissa avancerade processer (2nm, 5nm och andra processer under 28nm) har dock ersatt dem med syntetiska kvartsetsringar på grund av strikt kontroll över partiklar och metalljoner.

02 Quartz Dome

Ett genomskinligt kupolformat observationsfönster installerat på toppen av reaktionskammaren i etsnings- och tunnfilmsavsättningsutrustning (som CVD). Det behöver inte bara extremt hög renhet för att förhindra föroreningar från att kontaminera processkammaren utan kräver också vissa optiska egenskaper för att tillåta ljussignaler från detektionssystemet att passera igenom för realtidsövervakning av processen. Syntetisk kvarts, med sin extremt höga transmittans och höga renhet, används ofta i DOME (Diffusion Oxidation).

03 Ugnsrör

I högtemperaturoxidations-/diffusionsugnar fungerar den som den rörformiga kärnbehållaren som håller skivan och utför processreaktionen. Extremt hög värmebeständighet krävs, vilket möjliggör långvarig drift vid temperaturer över 1200°C utan uppmjukning eller deformation. Naturlig kvarts, på grund av sin höga Al-halt och låga hydroxylhalt, uppnår hög värmebeständighet och används ofta i ugnsrör. Men eftersom avancerade processer ålägger allt strängare kontroller av metallföroreningsjoner i kammaren, ersätter mycket värmebeständiga syntetiska kvartsmaterial gradvis naturliga kvartsugnsrör.

04 Rengöringstank

Används för att hålla hög renhet, mycket frätande rengöringslösningar (som SC1, SC2, fluorvätesyra, svavelsyra, etc.) för våtrengöring av wafers. Kvartsmaterial har utmärkt motståndskraft mot syra- och alkalikorrosion: de kan motstå erosion av nästan alla starka syror (förutom fluorvätesyra och het fosforsyra), vilket säkerställer att tanken förblir okorroderad för långvarig användning. Men vid långvarig användning frigörs metalljoner i kvartstanken gradvis, vilket lätt orsakar kontaminering. Syntetkvarts av PPB-kvalitet minskar effektivt jonkontamination av metallföroreningar och dess bubbelfria natur gör den mer lämpad för bearbetning av släta, täta ytor, vilket minskar vidhäftningen av föroreningar.

05. UV-härdningsfönster

Den är installerad på UV-härdningsutrustning och fungerar som ett fönster för att överföra UV-ljus. Bland alla optiska material har syntetisk kvarts den högsta transmittansen i de djupa ultravioletta (DUV) till ultravioletta (UV) banden (ned till 185nm). Dess höga hållfasthet och strålningsbeständighet säkerställer också att dess prestanda inte försämras eller missfärgas under långvarig UV-bestrålning.

06. Advanced Packaging Carrier

I avancerade förpackningsprocesser (som Fan-Out, 2.5D/3D IC) kan syntetiska kvartsbärskivor användas som bärplattor för att tillfälligt stödja, fixera, transportera och bearbeta ultratunna wafers eller rekonstruera wafers. Syntetiskt kvartsmaterial kan bearbetas för att uppnå utmärkt planhet och styvhet, vilket ger solidt stöd för ultratunna spån och säkerställer processnoggrannhet.

Semicorex levererar hög kvalitetkundanpassade kvartskomponenterför olika bearbetning. För skräddarsydda lösningar eller ytterligare teknisk information, kontakta gärna vårt ingenjörsteam.

Telefon: +86-13567891907

E-post: sales@semicorex.com