SiC-belagda planetariska susceptorer

Semicorex SiC-belagda planetsusceptorer är en oumbärlig stödkomponent designad för epitaxiell halvledartillväxt i Aixtron G2-utrustning, där de kan säkert stödja wafers och rotera i planetrörelse. På detta sätt kan den exakta termiska likformigheten och likformiga gasfördelningen över skivans yta framgångsrikt uppnås, vilket resulterar i epitaxiell skiktavsättning av hög kvalitet på skivor.

Fördelar med Semicorex SiC-belagda planetsusceptorer

1. Multi-wafer ficka design

Semicorex SiC-belagdplanetariska susceptorerhar en enhetlig fördelning av flera waferfickor med exakt kontrollerade dimensioner. Dessa waferfickor kan hålla fast wafersubstraten under den epitaxiella tillväxtprocessen, vilket effektivt kan minimera epitaxiella processvariationer som orsakas av oönskade rörelser av wafersubstrat. Dessutom tillåter denna multi-wafer-fickadesign flera wafersubstrat att genomgå epitaxiell avsättning samtidigt i en enda processkörning, vilket avsevärt förbättrar den totala effektiviteten av den epitaxiella tillväxtprocessen.

2. Optimerat gasflödeshål

Semicorex innehåller en noggrant konstruerad uppsättning gasflödeskanaler i sinSiC-kateradplanetariska susceptorer, som förfinar optimering av gasflödesdynamik och termisk enhetlighet över skivans yta under hela den epitaxiella processen. Denna genomtänkta design möjliggör noggrann kontroll över gasflödeshastigheten och distributionen inuti reaktionskammaren, vilket är avgörande för att uppnå tunna filmer av hög kvalitet, enhetlig skikttjocklek och tillförlitlig enhetsprestanda.

3. Ultrahög renlighet

Semicorex SiC-belagda planetsusceptorer är tillverkade av material med ultrahög renhet och extremt låga föroreningsnivåer, vilket helt uppfyller de strikta renhetskraven för tillverkning av halvledarprodukter. De minimerar effektivt waferkontamination orsakad av metallisk avgasning, även under de höga temperaturer och korrosiva förhållanden som är typiska för epitaxiella processer.

4. Långvarig livslängd

Semicorex kvalitetskontroll börjar med vårt rigorösa urval av råvaror. SiC-belagda planetsusceptorer är precisionstillverkade av grafit och kiselkarbid av halvledarkvalitet, och erbjuder utmärkt högtemperaturbeständighet och korrosionsbeständighet, vilket gör dem perfekt motstå de utmanande höga temperaturer, mycket korrosiva epitaxiella driftsförhållandena. Med dessa utmärkta materialegenskaper kan Semicorex SiC-belagda planetsusceptorer bibehålla sin konsekventa prestanda och strukturella integritet och undvika ytskador och prestandaförsämring i reaktionskammare med hög temperatur och hög korrosion, vilket avsevärt förlänger SiC-belagda planetsusceptorers livslängd.