Halvledar keramiska delar

Halvledar keramiska delar tillhör avancerad keramik och är en oumbärlig del av halvledarprocessen. Råvarorna för beredning är vanligtvis hög renhet, ultra-fina oorganiska material, såsom aluminiumoxid, kiselkarbid, aluminiumnitrid, kiselnitrid, yttriumoxid, zirkoniumoxid, etc.

Aluminiumoxid

Det används allmänt och produktprestanda varierar beroende på renheten. 95% renhet är ljusgul och 99% renhet är snövit. Den har utmärkt styvhet, styrka, slitmotstånd, hög temperaturmotstånd och korrosionsbeständighet och kan användas för att förbereda de flesta halvledar keramiska delar, såsom keramiska munstycken, keramiska armar etc.

Kiselkarbid

Den är svart, har hög värmeledningsförmåga, hög styrka och hårdhet, lätt vikt, god chockmotstånd och används ofta för att förbereda vakuummarm och vakuumsugskoppar.

Aluminiumnitrid

Den har hög värmeledningsförmåga, en värmeutvidgningskoefficient som matchar kisel, en låg dielektrisk konstant och dielektrisk förlust, och kan användas för att göra värmeavbrottsubstrat, keramiska munstycken, etc.

Kiselnitrid

Hög smältpunkt, ultrahög hårdhet, hög kemisk inerthet, låg termisk expansionskoefficient, hög värmeledningsförmåga, god termisk chockmotstånd, hög påverkan motstånd och styrka under 1200 ℃, används ofta för att göra keramiska underlag, keramiska rör, etc.

Yttriumoxid

Hög smältpunkt, god kemisk och fotokemisk stabilitet, hög värmeledningsförmåga, god ljusöverföring, ofta i kombination med aluminiumoxid för att göra keramiska fönster.

Zirkoniumoxid

Hög mekanisk styrka, hög temperaturresistens, syra och alkali -resistens, god isolering, enligt olika innehåll kan göras av keramiska produkter för olika ändamål, såsom integrerade kretssubstrat, etc.

Typer av delar:

"All-rounder" halvledar keramiska delar med olika funktioner används ofta i olika typer av halvledarnyckelutrustning, främst inklusive följande:

Halvledarkeramisk arm

Spelar en roll i halvledarutrustning när man transporterar skivor och måste arbeta i en dammsug. Vanligtvis beredd med hög renhet aluminiumoxid eller kiselkarbid, aluminiumoxid är kostnadseffektivt och används mer.

Keramisk underlag

Tillämpas i olika elektroniska förpackningsfält, såsom kraftelektroniska enheter, lasrar, etc., och är ofta beredda med material såsom aluminiumoxid och kiselnitrid.

Keramiskt munstycke

I HDP-CVD påverkar dess kvalitet renheten och flödeshastigheten för reaktionsgasen. Aluminiumnitridkeramik är mer lämpade för avancerad processutrustning på grund av deras utmärkta prestanda.

Keramisk fönster

Det är en nyckelkomponent i halvledaren Etcher. Det kan vakuumförseglas utan att påverka plasmotreringen. Den är vanligtvis tillverkad av hög renhetsalumitet och yttriumoxid.

Keramikkammare

Det är en nyckelkomponent i den tunna filmavlagringsutrustningen, som är avgörande för att säkerställa kvaliteten på skivan och tätningen av reaktionskammaren.

Keramisk vakuumchuck

Det används för att placera och klämma fast kiselskivan. Det är en porös keramik tillverkad av två keramiska material.

Förberedelseprocess:

Beredningsprocessen för "hantverk" halvledar keramiska delar är komplicerad, främst inklusive följande steg:

Pulverberedning

Råvarorna måste omarbetas, och det råa pulvret som uppfyller kraven erhålls genom satsning, mekanisk kulfräsning, spraytorkning och andra processer.

Pulvergjutning

Torrpressning, isostatisk pressning, tejpgjutning, formsprutning, gelinsprutning och andra metoder används ofta för att göra pulvret till keramisk grön kropp.

Sintring av hög temperatur

Den keramiska gröna kroppen förvandlas till en tät kokt kropp genom normalt tryck sintring, vakuum sintring, atmosfär sintring och andra metoder.

Precisionsbearbetning

Den sintrade keramiska kokta kroppen bearbetas med CNC -svarvar, slipmaskiner etc. för att uppnå önskad storlek och precision.

Kvalitetsinspektion

Utseendet, storleken, porositeten, grovheten och andra egenskaper hos keramiska delar testas för att säkerställa produktkvalitet.

Ytbehandling

Ytan på produkterna som passerar kvalitetsinspektionen rengörs, och ytterligare ytbehandling krävs för speciella behov, såsom bågsprutning, plasmasprutning, etc.

Semicorex erbjuder högkvalitativkeramiska delari halvledare. Om du har några förfrågningar eller behöver ytterligare information, tveka inte att komma i kontakt med oss.

Kontakta telefon # +86-13567891907

E -post: sales@semicorex.com