Fokusring eller kantringar är designade för att förbättra etsningslikformigheten runt waferns kant eller omkrets.
Semicorex fokusringar är kiselkarbidbelagda med kemisk ångavsättning (CVD) ger överlägsen värmebeständighet, jämn termisk enhetlighet för konsekvent epilagertjocklek och motståndskraft och hållbar kemisk beständighet, som är byggda för att motstå extrema miljöer i plasmaetsning eller torretsningsprocess .