Fokusring eller kantringar är designade för att förbättra etsningslikformigheten runt waferns kant eller omkrets.
Semicorex fokusringar är kiselkarbidbelagda med kemisk ångavsättning (CVD) ger överlägsen värmebeständighet, jämn termisk enhetlighet för konsekvent epilagertjocklek och motståndskraft och hållbar kemisk beständighet, som är byggda för att motstå extrema miljöer i plasmaetsning eller torretsningsprocess .
Semicorex SiC Focus Ring är en ringkomponent av hög renhet av kiselkarbid som är designad för att optimera plasmadistribution och enhetlighet i skivprocessen vid halvledartillverkning. Att välja Semicorex innebär att säkerställa konsekvent kvalitet, avancerad materialteknik och pålitlig prestanda som ledande halvledarfabriker över hela världen litar på.*
Läs merSkicka förfrågan