Fokusring eller kantringar är utformade för att förbättra etsningslikformigheten runt skivans kant eller omkrets.
Semicorex fokusringar är kiselkarbidbelagda med kemisk ångavsättning (CVD) ger överlägsen värmebeständighet, jämn termisk enhetlighet för konsekvent epilagertjocklek och motståndskraft, och hållbar kemisk beständighet, som är byggda för att motstå extrema miljöer i plasmaetsning eller torretsningsprocess .
Semicorex hållbara fokusringar för halvledarbearbetning är designade för att motstå de extrema miljöerna i plasmaetsningskammare som används vid halvledarbearbetning. Våra fokusringar är gjorda av högren grafit belagd med en tät, slitstark kiselkarbid (SiC) beläggning. SiC-beläggningen har höga korrosions- och värmebeständighetsegenskaper, samt utmärkt värmeledningsförmåga. Vi applicerar SiC i tunna lager på grafiten med den kemiska ångavsättningsprocessen (CVD) för att förbättra livslängden på våra fokusringar.
Läs merSkicka förfråganSemicorex Plasma-bearbetningsfokusring är speciellt utformad för att möta de höga kraven på plasmaetsningsbearbetning inom halvledarindustrin. Våra avancerade kiselkarbidbelagda komponenter med hög renhet är byggda för att tåla extrema miljöer och är lämpliga för användning i olika applikationer, inklusive kiselkarbidskikt och epitaxihalvledare.
Läs merSkicka förfråganSemicorex avancerade SiC Focus Rings med hög renhet är byggda för att motstå extrema miljöer i plasmaetsning (eller torretsning) kammare. Vi fokuserar på halvledarindustrier som kiselkarbidskikt och epitaxihalvledare. Våra produkter har en bra prisfördel och täcker många av de europeiska och amerikanska marknaderna. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfrågan