Pannkaka susceptor, en rund form av waferbärare som används vid halvledarbearbetning.
Epitaxi är ett avgörande steg i halvledarbearbetning som växer det epitaxiella lagret på halvledarskivor, där skivorna bärs på grafitsusceptorerna. Kvaliteterna hos grafitsusceptorer är nyckelfaktorer för kvaliteten på epi-wafers.
Grafitsusceptorer med kiselkarbidbeläggning
Semicorex levererar susceptorer och komponenter till alla epitaxireaktorer, inklusivetunna susceptoreroch pannkaka susceptorer. Vi använder högren grafit och CVD SiC-beläggning.