Kina Duschhuvud Tillverkare, leverantörer, fabrik

Ett SiC (kiselkarbid) duschhuvud är en specialiserad komponent som används i olika industriella processer, särskilt inom halvledartillverkningsindustrin. Den är utformad för att distribuera och leverera processgaser jämnt och exakt under kemisk ångavsättning (CVD) och epitaxiella tillväxtprocesser.

Duschhuvudet är format som en skiva eller platta med flera jämnt fördelade hål eller munstycken på sin yta. Dessa hål tjänar som utlopp för processgaserna, vilket gör att de kan injiceras i processkammaren eller reaktionskammaren. Hålens storlek, form och fördelning kan variera beroende på den specifika applikationen och processkraven.

En av de viktigaste fördelarna med att använda ett SiC-duschhuvud är dess utmärkta värmeledningsförmåga. Denna egenskap möjliggör effektiv värmeöverföring och enhetlig temperaturfördelning över duschhuvudets yta, förhindrar heta fläckar och säkerställer konsekventa processförhållanden. Den förbättrade värmeledningsförmågan möjliggör också snabb kylning av duschhuvudet efter processen, vilket minimerar stilleståndstiden och ökar den totala produktiviteten.

SiC-duschmunstycken är mycket hållbara och motståndskraftiga mot slitage, även vid långvarig exponering för frätande gaser och höga temperaturer. Denna livslängd översätts till förlängda underhållsintervall och minskad utrustningsstilleståndstid, vilket resulterar i kostnadsbesparingar och förbättrad processtillförlitlighet.

Förutom sin robusthet erbjuder SiC-duschhuvuden utmärkta gasdistributionsmöjligheter. De exakt konstruerade hålmönstren och konfigurationerna säkerställer enhetligt gasflöde och distribution över substratytan, vilket främjar konsekvent filmavlagring och förbättrad enhetsprestanda. Den enhetliga gasfördelningen hjälper också till att minimera variationer i filmtjocklek, sammansättning och andra kritiska parametrar, vilket bidrar till förbättrad processkontroll och utbyte.

Semicorex erbjuder ett halvledarduschhuvud av sintrad kiselkarbid med låg resistivitet.  Vi har förmågan att skräddarsy och leverera avancerade keramiska material med en mängd unika möjligheter.