Kiselkarbidkeramik (SiC) är ett avancerat keramiskt material som innehåller kisel och kol. Korn av kiselkarbid kan bindas samman genom sintring för att bilda mycket hård keramik. Semicorex levererar skräddarsydd kiselkarbidkeramik efter dina behov.
Ansökningar
Med kiselkarbidkeramik förblir materialegenskaperna konstanta upp till temperaturer över 1 400°C. Den höga Youngs modul > 400 GPa säkerställer utmärkt dimensionsstabilitet.
En typisk applikation för komponenter i kiselkarbid är dynamisk tätningsteknik med friktionslager och mekaniska tätningar, till exempel i pumpar och drivsystem.
Med de avancerade egenskaperna är kiselkarbidkeramik även idealisk för användning inom halvledarindustrin.
Wafer båtar
Semicorex Wafer Boat är gjord av sintrad kiselkarbidkeramik, som har god motståndskraft mot korrosion och utmärkt motståndskraft mot höga temperaturer och termisk chock. Avancerad keramik ger utmärkt värmebeständighet och plasmahållbarhet samtidigt som den mildrar partiklar och föroreningar för högkapacitets waferbärare.
Reaktionssintrad kiselkarbid
Jämfört med andra sintringsprocesser är storleksförändringen av reaktionssintring under förtätningsprocessen liten, och produkter med exakta dimensioner kan produceras. Närvaron av en stor mängd SiC i den sintrade kroppen gör emellertid högtemperaturprestandan hos reaktionssintrad SiC-keramik sämre.
Trycklös sintrad kiselkarbid
Trycklös sintrad kiselkarbid (SSiC) är en särskilt lätt och samtidigt hård högpresterande keramik. SSiC kännetecknas av hög hållfasthet, som förblir nästan konstant även vid extrema temperaturer.
Rekristall kiselkarbid
Omkristalliserad kiselkarbid (RSiC) är nästa generations material som bildas genom att blanda högrent kiselkarbid grovt pulver och högaktivt kiselkarbid fint pulver, och efter injektering, vakuumsintring vid 2450 ° C för att omkristallisera.
|
|
Reaktionssintrad kiselkarbid |
Trycklös sintrad kiselkarbid |
Omkristalliserad kiselkarbid |
Typiska egenskaper |
Enheter |
Värderingar |
|
|
Bulkdensitet |
g/cm3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2,60-2,70 |
Böjhållfasthet |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C) |
Tryckhållfasthet |
MPa (kpsi) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
Hårdhet |
Knoop |
2700 |
2800 |
/ |
Breaking Tenacity |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Värmeledningsförmåga |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
Värmeutvidgningskoefficient |
10-60,1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Specifik värme |
Joule/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Max temperatur i luft |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Elasticitetsmodul |
Gpa |
360 |
410 |
240 |
Böjhållfasthet |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C) |
Semicorex Wafer Boat Carrier står som en höjdpunkt av innovation inom halvledarbearbetning. Den här bäraren är noggrant tillverkad av grafit och förstärkt med en banbrytande beläggning av Chemical Vapor Deposition (CVD) Silicon Carbide (SiC), och exemplifierar precisionsteknik och avancerad materialvetenskap. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganSemicorex Baffle Wafer Boat är en mycket avancerad utrustning som används i halvledarbearbetning. Den har noggrant designats för att säkerställa att de ömtåliga wafers hålls säkra under de kritiska stadierna av produktionen. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganSemicorex Zirconia ZrO2 Robot Arm, en viktig komponent i halvledarbearbetning för sömlös waferöverföring och hantering. Tillverkad för att klara de rigorösa kraven från hög temperatur, frätande och nötande miljöer, denna keramiska arm har oöverträffad hållbarhet och tillförlitlighet. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganSemicorex Zirconia Keramiskt munstycke, tillverkat med noggrann uppmärksamhet på detaljer, detta munstycke står som symbolen för excellens i att kontrollera flödet av både gaser och vätskor med oöverträffad enhetlighet och precision. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganSemicorex Aluminium Nitride Ceramic Chuck representerar en banbrytande lösning för bearbetning av halvledarskivor, speciellt utformad för att säkert hålla wafers på plats under olika tillverkningsstadier. Den här innovativa enheten fungerar som en elektrostatisk chuck (ESC) och utnyttjar de exceptionella egenskaperna hos aluminiumnitridkeramik för att säkerställa exakt och pålitlig kvarhållning av wafer. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganSemicorex Aluminium Nitride (AlN) Wafer Holder står som en oumbärlig komponent inom halvledarbearbetningen, och fungerar som en central plattform för att säkert hålla ömtåliga wafers under olika tillverkningsstadier. Tillverkad av högkvalitativt aluminiumnitridmaterial, känt för sin exceptionella värmeledningsförmåga, mekaniska styrka och elektriska isoleringsegenskaper, säkerställer denna waferhållare optimala förhållanden för exakta och effektiva halvledartillverkningsprocesser. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfrågan