Semicorex är din partner för förbättringar inom halvledarbearbetning. Våra kiselkarbidbeläggningar är täta, höga temperaturer och kemiska resistenta, som ofta används i hela cykeln av halvledartillverkning, inklusive halvledarwafer & wafer bearbetning och halvledartillverkning.
Keramiska komponenter av hög renhet av SiC är avgörande för processer i halvledaren. Vårt erbjudande sträcker sig från förbrukningsartiklar till utrustning för bearbetning av skivor, såsom silicon Carbide wafer båt, cantilever paddlar, rör, etc för Epitaxy eller MOCVD.
Fördelar för halvledarprocesser
De tunna filmavsättningsfaserna som epitaxi eller MOCVD, eller waferhanteringsprocesser som etsning eller jonimplantat måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring. Semicorex levererar konstruktion av kiselkarbid med hög renhet (SiC) ger överlägsen värmebeständighet och hållbar kemisk beständighet, jämn termisk enhetlighet för konsekvent epi-skikttjocklek och motståndskraft.
Kammarlock →
Kammarlock som används vid bearbetning av kristalltillväxt och waferhantering måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring.
Fribärande paddel →
Cantilever Paddle är en avgörande komponent som används i halvledartillverkningsprocesser, särskilt i diffusions- eller LPCVD-ugnar under processer som diffusion och RTP.
Processrör →
Process Tube är en avgörande komponent, speciellt designad för olika halvledarbehandlingstillämpningar som RTP, diffusion.
Waferbåtar →
Wafer Boat används i halvledarbearbetning, den har noggrant utformats för att säkerställa att de ömtåliga wafers hålls säkra under de kritiska stadierna av produktionen.
Inloppsringar →
SiC-belagd gasinloppsring av MOCVD-utrustning Sammansättningstillväxt har hög värme- och korrosionsbeständighet, vilket har stor stabilitet i extrema miljöer.
Fokusring →
Semicorex levererar Silicon Carbide Coated fokusring är riktigt stabil för RTA, RTP eller hård kemisk rengöring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultraplatta keramiska vakuumwaferchuckar är högrent SiC-belagda med användning i waferhanteringsprocessen.
Semicorex har även keramiska produkter i aluminiumoxid (Al2O3), kiselnitrid (Si3N4), aluminiumnitrid (AIN), zirkoniumoxid (ZrO2), kompositkeramik, etc.
Semicorex SiC-belagda gasavledningsskivor är de oumbärliga grafitkomponenterna som appliceras i halvledarepitaxialutrustningen, konstruerade speciellt för att reglera reaktionsgasflödet och främja jämn gasfördelning i reaktionskammaren. Välj Semicorex, välj de optimala gasavledningslösningarna för högkvalitativa waferepitaxialresultat.
Läs merSkicka förfråganSemicorex SiC Wafer Carrier är tillverkad av kiselkarbidkeramik med hög renhet, genom 3D-utskriftsteknik, vilket innebär att den kan uppnå högvärdiga bearbetningskomponenter på kort tid. Semicorex anses tillhandahålla de kvalificerade högkvalitativa produkterna till våra globala kunder.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex CVD SiC-belagda övre markringar är de väsentliga ringformade komponenterna som är konstruerade speciellt för den sofistikerade plasmaetsningsutrustningen. Som den branschledande leverantören av halvledarkomponenter fokuserar Semicorex på att leverera högkvalitativa, långvariga och ultrarena CVD SiC-belagda övre jordringar för att hjälpa våra uppskattade kunder att förbättra operativ effektivitet och övergripande produktkvalitet.
Läs merSkicka förfråganSemicorex SiC-tätningar är högpresterande mekaniska ytkomponenter konstruerade för att ge överlägsen slitstyrka, termisk stabilitet och universell kemisk tröghet i de mest krävande miljöerna med roterande utrustning. Semicorex är en professionell leverantör av SiC-keramiska material, som kan leverera högprecisionsprodukter till globala kunder.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex SiC Piedestal är en högprecision, multifunktionell hårdvarukomponent designad för att ge den termiska stabiliteten och intrikata vätskefördelningen som krävs för avancerade mikrokanalreaktionssystem. Semicorex är specialiserat på konstruktion och leverans av dessa högrena SiC-piedestaler enligt kundernas behov.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex alumina wafer polerplattor är de högpresterande poleringskomponenterna gjorda av aluminiumoxid keramik, som är konstruerade speciellt för wafer polering processer i high-end halvledarindustrin. Genom att välja Semicorex, välj produkter med kostnadseffektiv prissättning, exceptionell hållbarhet och högeffektiv bearbetningsprestanda.
Läs merSkicka förfrågan