Semicorex är din partner för förbättringar inom halvledarbearbetning. Våra kiselkarbidbeläggningar är täta, höga temperaturer och kemiska resistenta, som ofta används i hela cykeln av halvledartillverkning, inklusive halvledarwafer & wafer bearbetning och halvledartillverkning.
Keramiska komponenter av hög renhet av SiC är avgörande för processer i halvledaren. Vårt erbjudande sträcker sig från förbrukningsartiklar till utrustning för bearbetning av skivor, såsom silicon Carbide wafer båt, cantilever paddlar, rör, etc för Epitaxy eller MOCVD.
Fördelar för halvledarprocesser
De tunna filmavsättningsfaserna som epitaxi eller MOCVD, eller waferhanteringsprocesser som etsning eller jonimplantat måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring. Semicorex levererar konstruktion av kiselkarbid med hög renhet (SiC) ger överlägsen värmebeständighet och hållbar kemisk beständighet, jämn termisk enhetlighet för konsekvent epi-skikttjocklek och motståndskraft.
Kammarlock →
Kammarlock som används vid bearbetning av kristalltillväxt och waferhantering måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring.
Fribärande paddel →
Cantilever Paddle är en avgörande komponent som används i halvledartillverkningsprocesser, särskilt i diffusions- eller LPCVD-ugnar under processer som diffusion och RTP.
Processrör →
Process Tube är en avgörande komponent, speciellt designad för olika halvledarbehandlingstillämpningar som RTP, diffusion.
Waferbåtar →
Wafer Boat används i halvledarbearbetning, den har noggrant utformats för att säkerställa att de ömtåliga wafers hålls säkra under de kritiska stadierna av produktionen.
Inloppsringar →
SiC-belagd gasinloppsring av MOCVD-utrustning Sammansättningstillväxt har hög värme- och korrosionsbeständighet, vilket har stor stabilitet i extrema miljöer.
Fokusring →
Semicorex levererar Silicon Carbide Coated fokusring är riktigt stabil för RTA, RTP eller hård kemisk rengöring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultraplatta keramiska vakuumwaferchuckar är högrent SiC-belagda med användning i waferhanteringsprocessen.
Semicorex har även keramiska produkter i aluminiumoxid (Al2O3), kiselnitrid (Si3N4), aluminiumnitrid (AIN), zirkoniumoxid (ZrO2), kompositkeramik, etc.
Semicorex kiselnitridplattor är höghållfast keramiska underlag utformade för att leverera exceptionell termisk prestanda och mekanisk tillförlitlighet för avancerade kraftmoduler. Att välja Semicorex innebär att dra nytta av precisionstillverkning, strikt kvalitetskontroll och materialteknikkompetens som säkerställer konsekvent prestanda även i de mest krävande applikationerna.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex SIC vertikala båtar är högpresterande skivbärare konstruerade för användning i vertikala ugnsprocesser, vilket erbjuder exceptionell stabilitet, renlighet och hållbarhet. Välj Semicorex för kompromisslös kvalitet, precisionstillverkning och bevisad tillförlitlighet i halvledarens termiska bearbetning.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex Sic Pipes är högpresterande kiselkarbid-keramiska komponenter designade för halvledarugnsapplikationer, vilket levererar exceptionella termiska, mekaniska och kemiska stabilitet i krävande processmiljöer. Välj semicorex för precisionskonstruerade SIC-rör som säkerställer konsekvent kvalitet, förlängd livslängd och maximal ugnseffektivitet.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex Horisontella kammarugn SIC-båtar är hög renhet kiselkarbidbärare konstruerad för säkert skivhölje under hög temperatur horisontell ugnsbehandling. Att välja semicorex innebär att dra nytta av exakt teknik, exceptionell hållbarhet och överlägsen termisk prestanda för konsekvent produktion med hög avkastning.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex kiselkarbidskanningsspeglar levererar exceptionell precision, hastighet och stabilitet för de mest krävande optiska skanningsapplikationerna. Välj Semicorex för oöverträffad expertis inom SIC-teknik, och erbjuder skräddarsydda geometrier, premiumbeläggningar och bevisad tillförlitlighet i högpresterande optiska system.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex Sic-speglar är högpresterande kiselkarbidoptiska komponenter konstruerade för extrem precision i applikationer såsom optiska skanningssystem, litografi och rymdbaserade teleskop. Välj Semicorex för vår avancerade tillverkningskompetens, anpassningsbara mönster och exceptionell ytbehandling som säkerställer oöverträffad stabilitet, reflektivitet och tillförlitlighet i de mest krävande miljöerna.*
Läs merSkicka förfrågan