Semicorex är din partner för förbättringar inom halvledarbearbetning. Våra kiselkarbidbeläggningar är täta, höga temperaturer och kemiska resistenta, som ofta används i hela cykeln av halvledartillverkning, inklusive halvledarwafer & wafer bearbetning och halvledartillverkning.
Keramiska komponenter av hög renhet av SiC är avgörande för processer i halvledaren. Vårt erbjudande sträcker sig från förbrukningsartiklar till utrustning för bearbetning av skivor, såsom silicon Carbide wafer båt, cantilever paddlar, rör, etc för Epitaxy eller MOCVD.
Fördelar för halvledarprocesser
De tunna filmavsättningsfaserna som epitaxi eller MOCVD, eller waferhanteringsprocesser som etsning eller jonimplantat måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring. Semicorex levererar konstruktion av kiselkarbid med hög renhet (SiC) ger överlägsen värmebeständighet och hållbar kemisk beständighet, jämn termisk enhetlighet för konsekvent epi-skikttjocklek och motståndskraft.
Kammarlock →
Kammarlock som används vid bearbetning av kristalltillväxt och waferhantering måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring.
Fribärande paddel →
Cantilever Paddle är en avgörande komponent som används i halvledartillverkningsprocesser, särskilt i diffusions- eller LPCVD-ugnar under processer som diffusion och RTP.
Processrör →
Process Tube är en avgörande komponent, speciellt designad för olika halvledarbehandlingstillämpningar som RTP, diffusion.
Waferbåtar →
Wafer Boat används i halvledarbearbetning, den har designats noggrant för att säkerställa att de ömtåliga wafers hålls säkra under de kritiska stadierna av produktionen.
Inloppsringar →
SiC-belagd gasinloppsring av MOCVD-utrustning Sammansättningstillväxt har hög värme- och korrosionsbeständighet, vilket har stor stabilitet i extrema miljöer.
Fokusring →
Semicorex levererar Silicon Carbide Coated fokusring är riktigt stabil för RTA, RTP eller hård kemisk rengöring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultraplatta keramiska vakuumwaferchuckar är högrent SiC-belagda med användning i waferhanteringsprocessen.
Semicorex har även keramiska produkter i aluminiumoxid (Al2O3), kiselnitrid (Si3N4), aluminiumnitrid (AIN), zirkoniumoxid (ZrO2), kompositkeramik, etc.
Aluminiumoxid keramiska flänsar är konstruerade komponenter som erbjuder betydande fördelar, särskilt i miljöer där termisk stabilitet, viktöverväganden och korrosionsbeständighet är av största vikt. Dessa flänsar är inte bara hållbara och pålitliga utan bidrar också till den totala effektiviteten och kostnadseffektiviteten för de system där de används. Deras unika egenskaper gör dem till ett utmärkt val för avancerade tekniska lösningar inom olika industrisektorer. Vi på Semicorex är dedikerade till att tillverka och leverera högpresterande aluminiumoxidkeramiska flänsar som förenar kvalitet med kostnadseffektivitet.**
Läs merSkicka förfråganSemicorex Alumina Vacuum Chuck är en precisionshållare designad för avancerad tillverkning och forskningsapplikationer. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina*.
Läs merSkicka förfråganSemicorex Silicon Carbide Chuck är en mycket specialiserad komponent som används vid tillverkning av halvledarprodukter. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina*.
Läs merSkicka förfråganSemicorex SiC Chuck, eller Silicon Carbide Chuck, är en specialiserad komponent som främst används i halvledartillverkning och precisionsbearbetningstillämpningar. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganSemicorex litografimaskinskelett är en viktig strukturell komponent utformad för att stödja och stabilisera det invecklade maskineriet som är involverat i fotolitografiprocesser. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganSemicorex Alumina Keramiska Wafer Chuckar inte begränsade till en enda industri; deras unika egenskaper gör dem lämpliga för ett brett spektrum av applikationer. Inom halvledarsektorn används de för att hålla wafers under chiptillverkning. Inom den kemiska industrin gör deras korrosionsbeständighet dem idealiska för hantering av aggressiva ämnen. Miljötillämpningar drar nytta av deras stabilitet och motståndskraft mot slitage, medan deras mekaniska egenskaper utnyttjas i utvecklingen av funktionella material. Vi på Semicorex är dedikerade till att tillverka och leverera högpresterande aluminiumoxidkeramiska waferchuckar som kombinerar kvalitet med kostnadseffektivitet.
Läs merSkicka förfrågan