Semicorex är din partner för förbättringar inom halvledarbearbetning. Våra kiselkarbidbeläggningar är täta, höga temperaturer och kemiska resistenta, som ofta används i hela cykeln av halvledartillverkning, inklusive halvledarwafer & wafer bearbetning och halvledartillverkning.
Keramiska komponenter av hög renhet av SiC är avgörande för processer i halvledaren. Vårt erbjudande sträcker sig från förbrukningsartiklar till utrustning för bearbetning av skivor, såsom silicon Carbide wafer båt, cantilever paddlar, rör, etc för Epitaxy eller MOCVD.
Fördelar för halvledarprocesser
De tunna filmavsättningsfaserna som epitaxi eller MOCVD, eller waferhanteringsprocesser som etsning eller jonimplantat måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring. Semicorex levererar konstruktion av kiselkarbid med hög renhet (SiC) ger överlägsen värmebeständighet och hållbar kemisk beständighet, jämn termisk enhetlighet för konsekvent epi-skikttjocklek och motståndskraft.
Kammarlock →
Kammarlock som används vid bearbetning av kristalltillväxt och waferhantering måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring.
Fribärande paddel →
Cantilever Paddle är en avgörande komponent som används i halvledartillverkningsprocesser, särskilt i diffusions- eller LPCVD-ugnar under processer som diffusion och RTP.
Processrör →
Process Tube är en avgörande komponent, speciellt designad för olika halvledarbehandlingstillämpningar som RTP, diffusion.
Waferbåtar →
Wafer Boat används i halvledarbearbetning, den har noggrant utformats för att säkerställa att de ömtåliga wafers hålls säkra under de kritiska stadierna av produktionen.
Inloppsringar →
SiC-belagd gasinloppsring av MOCVD-utrustning Sammansättningstillväxt har hög värme- och korrosionsbeständighet, vilket har stor stabilitet i extrema miljöer.
Fokusring →
Semicorex levererar Silicon Carbide Coated fokusring är riktigt stabil för RTA, RTP eller hård kemisk rengöring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultraplatta keramiska vakuumwaferchuckar är högrent SiC-belagda med användning i waferhanteringsprocessen.
Semicorex har även keramiska produkter i aluminiumoxid (Al2O3), kiselnitrid (Si3N4), aluminiumnitrid (AIN), zirkoniumoxid (ZrO2), kompositkeramik, etc.
Semicorex Porous Ceramic Chuck (Vacuum Chuck) är ett högprecisionsverktyg designat för att säkert hålla wafers under halvledartillverkningsprocesser. Genom att välja Semicorex drar du nytta av en lösning som erbjuder exceptionell prestanda, hållbarhet och anpassningsmöjligheter, vilket säkerställer ökad produktionseffektivitet och konsekventa kvalitetsstandarder.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex Alumina Vacuum Chucks är precisionskonstruerade komponenter designade för att säkert hålla wafers eller substrat under kritiska halvledar- och precisionstillverkningsprocesser. Med Semicorex engagemang för högkvalitativa material och banbrytande tillverkningstekniker ger våra aluminiumoxidvakuumchuckar oöverträffad tillförlitlighet, precision och prestanda för dina mest krävande applikationer.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex Vacuum Chuck är en högpresterande komponent designad för säker och exakt waferhantering vid halvledartillverkning. Välj Semicorex för våra avancerade, hållbara och kontamineringsbeständiga lösningar som säkerställer optimal prestanda även i de mest krävande processerna.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex Silicon Carbide Sleeve används vanligtvis som ett slitstarkt och korrosionsbeständigt foder för utrustning som cylindrar, pumpar, ventiler, glidlager och sliptrummor.
Läs merSkicka förfråganSemicorex Alumina Isoleringsring används som en isolator i olika elektriska komponenter, dess utmärkta elektriska isoleringsegenskaper säkerställer tillförlitlig prestanda i applikationer där det är viktigt att förhindra elektrisk ledning.
Läs merSkicka förfråganSemicorex Silicon Carbide Liner är ett mångsidigt och robust material som fungerar som en ovärderlig tillgång för att optimera effektiviteten och livslängden hos industriell bearbetningsutrustning.
Läs merSkicka förfrågan