Semicorex är din partner för förbättringar inom halvledarbearbetning. Våra kiselkarbidbeläggningar är täta, höga temperaturer och kemiska resistenta, som ofta används i hela cykeln av halvledartillverkning, inklusive halvledarwafer & wafer bearbetning och halvledartillverkning.
Keramiska komponenter av hög renhet av SiC är avgörande för processer i halvledaren. Vårt erbjudande sträcker sig från förbrukningsartiklar till utrustning för bearbetning av skivor, såsom silicon Carbide wafer båt, cantilever paddlar, rör, etc för Epitaxy eller MOCVD.
Fördelar för halvledarprocesser
De tunna filmavsättningsfaserna som epitaxi eller MOCVD, eller waferhanteringsprocesser som etsning eller jonimplantat måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring. Semicorex levererar konstruktion av kiselkarbid med hög renhet (SiC) ger överlägsen värmebeständighet och hållbar kemisk beständighet, jämn termisk enhetlighet för konsekvent epi-skikttjocklek och motståndskraft.
Kammarlock →
Kammarlock som används vid bearbetning av kristalltillväxt och waferhantering måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring.
Fribärande paddel →
Cantilever Paddle är en avgörande komponent som används i halvledartillverkningsprocesser, särskilt i diffusions- eller LPCVD-ugnar under processer som diffusion och RTP.
Processrör →
Process Tube är en avgörande komponent, speciellt designad för olika halvledarbehandlingstillämpningar som RTP, diffusion.
Waferbåtar →
Wafer Boat används i halvledarbearbetning, den har noggrant utformats för att säkerställa att de ömtåliga wafers hålls säkra under de kritiska stadierna av produktionen.
Inloppsringar →
SiC-belagd gasinloppsring av MOCVD-utrustning Sammansättningstillväxt har hög värme- och korrosionsbeständighet, vilket har stor stabilitet i extrema miljöer.
Fokusring →
Semicorex levererar Silicon Carbide Coated fokusring är riktigt stabil för RTA, RTP eller hård kemisk rengöring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultraplatta keramiska vakuumwaferchuckar är högrent SiC-belagda med användning i waferhanteringsprocessen.
Semicorex har även keramiska produkter i aluminiumoxid (Al2O3), kiselnitrid (Si3N4), aluminiumnitrid (AIN), zirkoniumoxid (ZrO2), kompositkeramik, etc.
Speciellt designade för applikationer med extrema temperaturer, varmpressade bornitriddeglar är oumbärliga keramiska behållare som fungerar som de briljanta lösningarna både för metallsmältnings- och förångningsprocesser och processer för tillväxt av halvledarkristaller.
Läs merSkicka förfråganSIC termoelementskyddsrör är tillverkade av högkvalitativa kiselkarbidmaterial och är avancerade keramiska lösningar som används för att skydda termoelement från att fungera normalt i krävande högtemperaturmiljöer. Välj Semicorex för precisionskonstruerade SIC-termoelementskyddsrör som säkerställer jämn kvalitet, kostnadseffektivt pris och maximerad kyleffektivitet.
Läs merSkicka förfråganTillverkade av den högpresterande kiselkarbidkeramen, kiselkarbidkylkanalerna är prestanda rörkomponenter som används i kylprocesser i industriella ugnar med hög temperatur. Välj Semicorex för precisionskonstruerade kylkanaler av kiselkarbid som säkerställer jämn kvalitet, kostnadseffektivt pris och maximerad kyleffektivitet.
Läs merSkicka förfråganSemicorex Carbon Ceramic Brake är tillverkad av avancerade kolkeramiska kompositer, som är ett avancerat material som är mycket lämpligt för arbetsmiljön med hög temperatur. Semicorex levererar skräddarsydda produkter enligt applikationerna och kundernas krav.*
Läs merSkicka förfråganSilicon Carbide ICP Etching Plate är en oumbärlig waferhållare tillverkad av sintrad kiselkarbidkeramik med hög renhet. Speciellt designad av Semicorex, fungerar den som de avgörande möjliggörarna för induktivt kopplad plasma (ICP) etsning och avsättningssystem i den banbrytande halvledarindustrin.
Läs merSkicka förfråganAluminiumnitriddeglar från Semicorex tillverkas av halvledarkvaliteten AlN-keramik, som är de högpresterande reaktionskärlen som används i utmanande högtemperaturmiljöer. Semicorex erbjuder skräddarsydd produktion enligt kundens krav, och hanterar både storskaliga beställningar och små serier av prototyper.
Läs merSkicka förfrågan