PSS (Patterned Sapphire Substrate) etsningsbärare används vid tillverkning av LED-enheter. PSS-etsningsbäraren fungerar som ett substrat för tillväxten av en tunn film av galliumnitrid (GaN) som bildar LED-strukturen, och upplev sedan etsningsprocessen. Så det kräver materialet med hög värme- och korrosionsbeständighet. Semicorex SiC-belagd PSS-etsningsbärare konstruerad speciellt för dessa krävande epitaxiutrustningstillämpningar. Bäraren är kiselkarbidbelagd med CVD-metoden, har också en hög värmeledningsförmåga och utmärkta värmefördelningsegenskaper.