Som professionell tillverkning vill vi ge dig halvledarkomponenter. Semicorex är din partner för förbättringar inom halvledarbearbetning. Våra kiselkarbidbeläggningar är täta, höga temperaturer och kemiska resistenta, som ofta används i hela cykeln av halvledartillverkning, inklusive halvledarwafer & wafer bearbetning och halvledartillverkning.
SiC-belagda komponenter med hög renhet är avgörande för processer i halvledaren. Vårt erbjudande sträcker sig från grafittillbehör för kristalltillväxt heta zoner (värmare, degelsusceptorer, isolering) till högprecisionsgrafitkomponenter för waferbearbetningsutrustning, såsom kiselkarbidbelagda grafitsusceptorer för Epitaxi eller MOCVD.
Fördelar för halvledarprocesser
De tunna filmavsättningsfaserna som epitaxi eller MOCVD, eller waferhanteringsprocesser som etsning eller jonimplantat måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring. Semicorex levererar högren kiselkarbid (SiC) belagd grafitkonstruktion ger överlägsen värmebeständighet och hållbar kemisk beständighet, jämn termisk enhetlighet för konsekvent epi-skikttjocklek och beständighet.
Kammarlock →
Kammarlock som används vid bearbetning av kristalltillväxt och waferhantering måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring.
Sluteffektor →
Ändeffektor är robotens hand som flyttar halvledarskivor mellan positioner i waferbearbetningsutrustning och bärare.
Inloppsringar →
SiC-belagd gasinloppsring av MOCVD-utrustning Sammansättningstillväxt har hög värme- och korrosionsbeständighet, vilket har stor stabilitet i extrema miljöer.
Fokusring →
Semicorex levererar Silicon Carbide Coated fokusring är riktigt stabil för RTA, RTP eller hård kemisk rengöring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultraplatta keramiska vakuumwaferchuckar är högrent SiC-belagda med användning i waferhanteringsprocessen.
Semicorex SiC Process Tubes är gjorda av hög renhet SiC keramik med CVD SiC beläggning, den är lämplig för horisontell ugn i Semiconductor. Med tanke på produktkvaliteten och eftermarknadsservicen är Semicorex den som vill göra affärer av hög kvalitet med våra globala kunder.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex High Purity SiC Cantilever Paddle är tillverkad av sintrad SiC-keramik med hög renhet, som är en strukturell del i horisontell ugn i halvledare. Semicorex är ett erfaret företag som levererar SiC-komponenter till halvledarindustrin.*
Läs merSkicka förfråganMonokristallint kiselplanmål från Semicorex är en avgörande komponent i banbrytande halvledartillverkningsindustri. Tillverkad av högkvalitativt monokristallint kiselmaterial, den har en välordnad kristallstruktur och anmärkningsvärd renhet. Dessa egenskaper gör den till en idealisk lösning för tillverkning av pålitliga, högpresterande halvledarfilmer och optiska filmer.
Läs merSkicka förfråganSemicorex kiselkassettbåtar är specialiserade bärare tillverkade av 99,9999999 % högrent monokristallint och polykristallint kisel, speciellt inriktade på tillverkning av hög halvledartyp. Att välja Semicorex innebär att du kommer att dra nytta av pålitlig kvalitet, anpassningstjänster och ökad produktivitet.
Läs merSkicka förfråganSkräddarsydd porös keramisk chuck är den överlägsna klämnings- och fixeringslösningen för arbetsstycket designad exklusivt för halvledartillverkning. Att välja Semicorex innebär att du kommer att dra nytta av pålitlig kvalitet, anpassningstjänster och ökad produktivitet.
Läs merSkicka förfråganEnkristallsilikonduschhuvud, känt som gassprayhuvudet eller gasfördelningsplattan eller, är en allmänt använd gasdistributionsanordning i halvledartillverkningsprocesser för viktiga processsteg som rengöring, etsning och deponering. Högkvalitativt och kostnadseffektivt enkristallduschhuvud av silikon är avgörande för att förbättra precisionen och kvaliteten på chiptillverkning i halvledarindustrin.
Läs merSkicka förfrågan