Som professionell tillverkning vill vi ge dig halvledarkomponenter. Semicorex är din partner för förbättringar inom halvledarbearbetning. Våra kiselkarbidbeläggningar är täta, höga temperaturer och kemiska resistenta, som ofta används i hela cykeln av halvledartillverkning, inklusive halvledarwafer & wafer bearbetning och halvledartillverkning.
SiC-belagda komponenter med hög renhet är avgörande för processer i halvledaren. Vårt erbjudande sträcker sig från grafittillbehör för kristalltillväxt heta zoner (värmare, degelsusceptorer, isolering) till högprecisionsgrafitkomponenter för waferbearbetningsutrustning, såsom kiselkarbidbelagda grafitsusceptorer för Epitaxi eller MOCVD.
Fördelar för halvledarprocesser
De tunna filmavsättningsfaserna som epitaxi eller MOCVD, eller waferhanteringsprocesser som etsning eller jonimplantat måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring. Semicorex levererar högren kiselkarbid (SiC) belagd grafitkonstruktion ger överlägsen värmebeständighet och hållbar kemisk beständighet, jämn termisk enhetlighet för konsekvent epi-skikttjocklek och beständighet.
Kammarlock →
Kammarlock som används vid bearbetning av kristalltillväxt och waferhantering måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring.
Sluteffektor →
Ändeffektor är robotens hand som flyttar halvledarskivor mellan positioner i waferbearbetningsutrustning och bärare.
Inloppsringar →
SiC-belagd gasinloppsring av MOCVD-utrustning Sammansättningstillväxt har hög värme- och korrosionsbeständighet, vilket har stor stabilitet i extrema miljöer.
Fokusring →
Semicorex levererar Silicon Carbide Coated fokusring är riktigt stabil för RTA, RTP eller hård kemisk rengöring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultraplatta keramiska vakuumwaferchuckar är högrent SiC-belagda med användning i waferhanteringsprocessen.
Semicorex Wafer Edge-slipning Chuck är en keramisk disk tillverkad av hög renhet vit aluminiumoxid, designad för skivkantslipning i halvledartillverkning. Att välja Semicorex säkerställer överlägsen materialkvalitet, precisionsteknik och pålitlig prestanda som stöder de mest krävande skivbearbetningsmiljöerna.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex porösa aluminiumoxidchuckar är mikroporous svart aluminiumoxidvakuumfixtur med 35–40% porositet, utformad för att ge enhetlig sug och säker skivhantering i halvledartillverkning. Att välja Semicorex betyder tillförlitlig keramisk teknik, överlägsen materialkvalitet och konsekvent prestanda som skyddar avkastning och bearbetar stabilitet.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex Al2O3 Vakuumchuckar är mikroporösa keramiska adsorptionsfixtur tillverkade av svart aluminiumoxid med en porositet på 35–40%, speciellt utformade för skivhantering i halvledarapplikationer. Att välja Semicorex innebär att dra nytta av avancerad keramisk teknik, precisionsteknik och tillförlitlig produktkvalitet som säkerställer stabil prestanda i krävande renrumsmiljöer.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex aluminiumoxid keramisk arm är en robotkomponent med hög renhet designad för exakt och kontamineringsfri skivhantering i halvledartillverkning. Att välja Semicorex säkerställer inte bara avancerad keramisk materialkvalitet i aluminiumoxid utan också precisionshantverk som garanterar hållbarhet, renlighet och tillförlitlighet i kritiska processmiljöer.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex Sic Inlet Rings är högpresterande kiselkarbidkomponenter konstruerade för halvledarbearbetningsutrustning, vilket erbjuder exceptionell termisk stabilitet, kemisk resistens och precisionsbearbetning. Att välja Semicorex innebär att få tillgång till pålitliga, anpassade och föroreningsfria lösningar som litar på ledande halvledartillverkare.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex SIC ARM är en högrenad kiselkarbidkomponent designad för exakt skivhantering och positionering vid halvledartillverkning. Att välja Semicorex säkerställer oöverträffad materialtillförlitlighet, kemisk resistens och precisionsteknik som stöder de mest krävande halvledarprocesserna.*
Läs merSkicka förfrågan