Som professionell tillverkning vill vi ge dig halvledarkomponenter. Semicorex är din partner för förbättringar inom halvledarbearbetning. Våra kiselkarbidbeläggningar är täta, höga temperaturer och kemiska resistenta, som ofta används i hela cykeln av halvledartillverkning, inklusive halvledarwafer & wafer bearbetning och halvledartillverkning.
SiC-belagda komponenter med hög renhet är avgörande för processer i halvledaren. Vårt erbjudande sträcker sig från grafittillbehör för kristalltillväxt heta zoner (värmare, degelsusceptorer, isolering) till högprecisionsgrafitkomponenter för waferbearbetningsutrustning, såsom kiselkarbidbelagda grafitsusceptorer för Epitaxi eller MOCVD.
Fördelar för halvledarprocesser
De tunna filmavsättningsfaserna som epitaxi eller MOCVD, eller waferhanteringsprocesser som etsning eller jonimplantat måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring. Semicorex levererar högren kiselkarbid (SiC) belagd grafitkonstruktion ger överlägsen värmebeständighet och hållbar kemisk beständighet, jämn termisk enhetlighet för konsekvent epi-skikttjocklek och beständighet.
Kammarlock →
Kammarlock som används vid bearbetning av kristalltillväxt och waferhantering måste tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring.
Sluteffektor →
Ändeffektor är robotens hand som flyttar halvledarskivor mellan positioner i waferbearbetningsutrustning och bärare.
Inloppsringar →
SiC-belagd gasinloppsring av MOCVD-utrustning Sammansättningstillväxt har hög värme- och korrosionsbeständighet, vilket har stor stabilitet i extrema miljöer.
Fokusring →
Semicorex levererar Silicon Carbide Coated fokusring är riktigt stabil för RTA, RTP eller hård kemisk rengöring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultraplatta keramiska vakuumwaferchuckar är högrent SiC-belagda med användning i waferhanteringsprocessen.
Semicorex Sic Inlet Rings är högpresterande kiselkarbidkomponenter konstruerade för halvledarbearbetningsutrustning, vilket erbjuder exceptionell termisk stabilitet, kemisk resistens och precisionsbearbetning. Att välja Semicorex innebär att få tillgång till pålitliga, anpassade och föroreningsfria lösningar som litar på ledande halvledartillverkare.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex SIC ARM är en högrenad kiselkarbidkomponent designad för exakt skivhantering och positionering vid halvledartillverkning. Att välja Semicorex säkerställer oöverträffad materialtillförlitlighet, kemisk resistens och precisionsteknik som stöder de mest krävande halvledarprocesserna.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex Sic-fingrar är precisionskonstruerade komponenter tillverkade av kiselkarbid med hög renhet, utformad för att utföra under de extrema kraven på halvledartillverkning. Att välja Semicorex innebär tillgång till avancerad materialkompetens, högprecisionsbehandling och pålitliga lösningar som litar på kritiska skivhanteringsapplikationer.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex Sic Lid är en högrenad kiselkarbidkomponent som är konstruerad för extremt halvledarbearbetningsmiljöer. Att välja semicorex innebär att säkerställa oöverträffad materialkvalitet, precisionsteknik och anpassade lösningar som litar på av ledande halvledartillverkare över hela världen.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex kiselelektroder är högpresterande komponenter som kombinerar effektiv elektrisk ledning med exakta gasfördelningsförmåga. Att välja Semicorex innebär att samarbeta med en betrodd expert som levererar överlägsen kvalitet, avancerade tillverkningstekniker och pålitliga, anpassningsbara kiselelektrodlösningar anpassade efter dina specifika behov.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex kiselbåtar är högrenade kiselbärare designade för kristalltillväxt, halvledare och fotovoltaiska tillverkningsprocesser, vilket ger exceptionell termisk stabilitet och kontamineringskontroll. Att välja Semicorex innebär att komma åt precisionskonstruerade båtar som är gjorda under strikt kvalitetskontroll för att säkerställa konsekvent prestanda i de mest krävande miljöerna.*
Läs merSkicka förfrågan