Semicorex waferchuckar gjorda av kiselkarbidbeläggning av MOCVD har överlägsen snabb kylnings- och värmebeständighet, slitstyrka, extra lång livslängd. Det är det fantastiska materialet för att hålla och stödja plattor för Si-wafers för olika processer under chipproduktion i halvledarindustrin.
● Styvhet
● Låg termisk expansion
● Låg vikt