TaC-beläggningsgrafit skapas genom att belägga ytan på ett grafitsubstrat med hög renhet med ett fint lager av tantalkarbid genom en egenutvecklad process för kemisk ångavsättning (CVD).
Tantalkarbid (TaC) är en förening som består av tantal och kol. Det har metallisk elektrisk ledningsförmåga och en exceptionellt hög smältpunkt, vilket gör det till ett eldfast keramiskt material känt för sin styrka, hårdhet och värme- och slitstyrka. Smältpunkten för tantalkarbider når en topp vid cirka 3880°C beroende på renhet och har en av de högsta smältpunkterna bland de binära föreningarna. Detta gör det till ett attraktivt alternativ när högre temperaturkrav överstiger prestanda som används i epitaxiella processer för sammansatta halvledare som MOCVD och LPE.
Materialdata för Semicorex TaC Coating
|
Projekt |
Parametrar |
|
Densitet |
14,3 (gm/cm³) |
|
Emissionsförmåga |
0.3 |
|
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
|
Hårdhet (HK) |
2000 |
|
Motstånd (Ohm-cm) |
1×10-5 |
|
Termisk stabilitet |
<2500℃ |
|
Ändring av grafitdimension |
-10~-20um (referensvärde) |
|
Beläggningstjocklek |
≥20um typiskt värde (35um±10um) |
|
|
|
|
Ovanstående är typiska värden |
|
Semicorex TaC Coated Components in Epitaxial Growth är en dyrbar maskinbearbetad del placerad i luftintaget i den epitaxiella processen i halvledare. Semicorex är ett förstklassigt företag som specialiserar sig på CVD TaC-beläggningsteknik i Kina och exporterar produkter över hela världen.*
Läs merSkicka förfråganTaC-belagd frökristallhållare är en högpresterande komponent speciellt designad för tillväxtmiljön för halvledarmaterial. Som en ledande tillverkare av TTaC-belagda frökristallhållare erbjuder semicorex dig effektiva kärnkomponentlösningar inom det avancerade halvledartillverkningsområdet.
Läs merSkicka förfråganSemicorex TaC Coating Piedestal Supporter är en kritisk komponent designad för epitaxiella tillväxtsystem, speciellt skräddarsydd för att stödja reaktorpiedestaler och optimera processgasflödesdistribution. Semicorex levererar en högpresterande, precisionskonstruerad lösning som kombinerar överlägsen strukturell integritet, termisk stabilitet och kemisk beständighet – vilket säkerställer konsekvent, pålitlig prestanda i avancerade epitaxiapplikationer.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex CVD TaC Coated Susceptor är en premiumlösning designad för MOCVD epitaxiella processer, som ger enastående termisk stabilitet, renhet och korrosionsbeständighet under extrema processförhållanden. Semicorex fokuserar på precisionskonstruerad beläggningsteknik som säkerställer konsekvent waferkvalitet, förlängd komponentlivslängd och pålitlig prestanda i varje produktionscykel.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex TaC Coated Crucibles är högpresterande behållare designade för extrema temperaturapplikationer, lämpliga för både metallsmältning och avancerade halvledarprocesser. Att välja Semicorex innebär att du får tillgång till banbrytande beläggningsteknik och ingenjörsexpertis som ger exceptionell renhet, hållbarhet och stabilitet i de mest krävande miljöerna.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex TaC Coated Planetary Plate är en högprecisionskomponent designad för MOCVD epitaxiell tillväxt, med planetarisk rörelse med flera waferfickor och optimerad gasflödeskontroll. Att välja Semicorex innebär tillgång till avancerad beläggningsteknik och ingenjörsexpertis som levererar exceptionell hållbarhet, renhet och processstabilitet för halvledarindustrin.*
Läs merSkicka förfrågan