Semicorex RTP-bärare är kiselkarbidbelagd med den kemiska ångavsättningsprocessen (CVD), som är riktigt stabil för RTA, RTP eller hård kemisk rengöring. I kärnan av halvledarprocessen, epitaxisusceptorerna, utsätts först för avsättningsmiljön, så den har hög värme- och korrosionsbeständighet. Den SiC-belagda bäraren har också en hög värmeledningsförmåga och utmärkta värmefördelningsegenskaper.
● Hög renhet SiC-belagd grafit
● Överlägsen värmebeständighet och kemikaliebeständighet
● Hög termisk enhetlighet
● Utmärkt slitstyrka
Semicorex SiC-belagda grafitplattor är bärare med hög renhet speciellt framtagna för de rigorösa kraven på SiC- och GaN-epitax, som använder en tät CVD-kiselkarbidbeläggning på ett isostatiskt grafitsubstrat för att tillhandahålla en stabil, kemiskt inert termisk barriär för bearbetning av högavkastande wafer. Semicorex tillhandahåller kvalificerade produkter och tjänster till globala kunder.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex RTP SIC-beläggningsplattor är högpresterande skivbärare konstruerade för användning i krävande snabba termiska bearbetningsmiljöer. Semicorex litar på att ledande halvledartillverkare levererar överlägsen termisk stabilitet, hållbarhet och föroreningskontroll med rigorösa kvalitetsstandarder och precisionstillverkning.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex RTP Ring är en SiC-belagd grafitring designad för högpresterande applikationer i Rapid Thermal Processing (RTP) system. Välj Semicorex för vår avancerade materialteknologi, vilket säkerställer överlägsen hållbarhet, precision och tillförlitlighet vid tillverkning av halvledarprodukter.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex RTP Graphite Carrier Plate är den perfekta lösningen för applikationer för bearbetning av halvledarskivor, inklusive epitaxiell tillväxt och bearbetning av waferhantering. Vår produkt är designad för att erbjuda överlägsen värmebeständighet och termisk enhetlighet, vilket säkerställer att epitaxisusceptorerna utsätts för avsättningsmiljön, med hög värme- och korrosionsbeständighet.
Läs merSkicka förfråganSemicorex RTP SiC Coating Carrier erbjuder överlägsen värmebeständighet och termisk enhetlighet, vilket gör den till den perfekta lösningen för applikationer för bearbetning av halvledarskivor. Med sin högkvalitativa SiC-belagda grafit är denna produkt designad för att motstå den hårdaste avsättningsmiljön för epitaxiell tillväxt. Den höga värmeledningsförmågan och utmärkta värmefördelningsegenskaperna säkerställer tillförlitlig prestanda för RTA, RTP eller hård kemisk rengöring.
Läs merSkicka förfråganSemicorex RTP/RTA SiC Coating Carrier är konstruerad för att motstå de tuffaste förhållandena i deponeringsmiljön. Med sin höga värme- och korrosionsbeständighet är denna produkt designad för att ge optimal prestanda för epitaxiell tillväxt. Den SiC-belagda bäraren har en hög värmeledningsförmåga och utmärkta värmefördelningsegenskaper, vilket säkerställer tillförlitlig prestanda för RTA, RTP eller hård kemisk rengöring.
Läs merSkicka förfrågan