Semicorex RTP-bärare är kiselkarbidbelagd med den kemiska ångavsättningsprocessen (CVD), som är riktigt stabil för RTA, RTP eller hård kemisk rengöring. I kärnan av halvledarprocessen, epitaxisusceptorerna, utsätts först för avsättningsmiljön, så den har hög värme- och korrosionsbeständighet. Den SiC-belagda bäraren har också en hög värmeledningsförmåga och utmärkta värmefördelningsegenskaper.
● Hög renhet SiC-belagd grafit
● Överlägsen värmebeständighet och kemikaliebeständighet
● Hög termisk enhetlighet
● Utmärkt slitstyrka
Semicorex RTP Ring är en SiC-belagd grafitring designad för högpresterande applikationer i Rapid Thermal Processing (RTP) system. Välj Semicorex för vår avancerade materialteknologi, vilket säkerställer överlägsen hållbarhet, precision och tillförlitlighet vid tillverkning av halvledarprodukter.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex RTP Graphite Carrier Plate är den perfekta lösningen för applikationer för bearbetning av halvledarskivor, inklusive epitaxiell tillväxt och bearbetning av waferhantering. Vår produkt är designad för att erbjuda överlägsen värmebeständighet och termisk enhetlighet, vilket säkerställer att epitaxisusceptorerna utsätts för avsättningsmiljön, med hög värme- och korrosionsbeständighet.
Läs merSkicka förfråganSemicorex RTP SiC Coating Carrier erbjuder överlägsen värmebeständighet och termisk enhetlighet, vilket gör den till den perfekta lösningen för applikationer för bearbetning av halvledarskivor. Med sin högkvalitativa SiC-belagda grafit är denna produkt designad för att motstå den hårdaste avsättningsmiljön för epitaxiell tillväxt. Den höga värmeledningsförmågan och utmärkta värmefördelningsegenskaperna säkerställer tillförlitlig prestanda för RTA, RTP eller hård kemisk rengöring.
Läs merSkicka förfråganSemicorex RTP/RTA SiC Coating Carrier är konstruerad för att motstå de tuffaste förhållandena i deponeringsmiljön. Med sin höga värme- och korrosionsbeständighet är denna produkt designad för att ge optimal prestanda för epitaxiell tillväxt. Den SiC-belagda bäraren har en hög värmeledningsförmåga och utmärkta värmefördelningsegenskaper, vilket säkerställer tillförlitlig prestanda för RTA, RTP eller hård kemisk rengöring.
Läs merSkicka förfråganSemicorex SiC Graphite RTP Carrier Plate för MOCVD erbjuder överlägsen värmebeständighet och termisk enhetlighet, vilket gör den till den perfekta lösningen för applikationer för bearbetning av halvledarskivor. Med en högkvalitativ SiC-belagd grafit är denna produkt konstruerad för att motstå den hårdaste avsättningsmiljön för epitaxiell tillväxt. Den höga värmeledningsförmågan och utmärkta värmefördelningsegenskaperna säkerställer tillförlitlig prestanda för RTA, RTP eller hård kemisk rengöring.
Läs merSkicka förfråganSemicorex SiC-belagd RTP-bärarplatta för epitaxiell tillväxt är den perfekta lösningen för applikationer för bearbetning av halvledarskivor. Med sina högkvalitativa kolgrafitsusceptorer och kvartsdeglar bearbetade av MOCVD på ytan av grafit, keramik, etc., är denna produkt idealisk för waferhantering och epitaxiell tillväxtbearbetning. Den SiC-belagda bäraren säkerställer hög värmeledningsförmåga och utmärkta värmefördelningsegenskaper, vilket gör den till ett pålitligt val för RTA, RTP eller hård kemisk rengöring.
Läs merSkicka förfrågan