Semicorex RTP-bärare är kiselkarbidbelagd med den kemiska ångavsättningsprocessen (CVD), som är riktigt stabil för RTA, RTP eller hård kemisk rengöring. I kärnan av halvledarprocessen, epitaxisusceptorerna, utsätts först för avsättningsmiljön, så den har hög värme- och korrosionsbeständighet. Den SiC-belagda bäraren har också en hög värmeledningsförmåga och utmärkta värmefördelningsegenskaper.
● Hög renhet SiC-belagd grafit
● Överlägsen värmebeständighet och kemikaliebeständighet
● Hög termisk enhetlighet
● Utmärkt slitstyrka