Kammarlock används för att skapa en ren, inert och skyddad miljö i deponeringskammarna, så att de utsätts för plasma och hög temperatur under deponerings- eller etsningsprocesser. Semicorex kammarlock är hållbara keramiska komponenter belagda med kiselkarbid med kemisk ångavsättningsmetod (CVD), perfekt för att stå emot dessa utmanande miljöer.