Kammarlock används för att skapa en ren, inert och skyddad miljö i deponeringskammarna, så att de utsätts för plasma och hög temperatur under deponerings- eller etsningsprocesser. Semicorex kammarlock är hållbara keramiska komponenter belagda med kiselkarbid med kemisk ångavsättningsmetod (CVD), perfekt för att stå emot dessa utmanande miljöer.
Semicorex Sic Lid är en högrenad kiselkarbidkomponent som är konstruerad för extremt halvledarbearbetningsmiljöer. Att välja semicorex innebär att säkerställa oöverträffad materialkvalitet, precisionsteknik och anpassade lösningar som litar på av ledande halvledartillverkare över hela världen.*
Läs merSkicka förfrågan