Introduktion av aluminiumoxidmaterial

Keramik i aluminiumoxidKomponenter har utmärkta egenskaper såsom hög hårdhet, hög mekanisk styrka, superslitage, hög temperaturmotstånd, hög resistivitet och god elektrisk isoleringsprestanda. De kan uppfylla de komplexa prestandakraven för halvledartillverkning i speciella miljöer som vakuum och hög temperatur. De spelar en oföränderlig och viktig roll i produktionslinjer för halvledartillverkning. Deras applikationer täcker nästan all utrustning för tillverkning av halvledar och är viktiga komponenter i halvledarproduktionsutrustning. Med den kontinuerliga utvecklingen av halvledarindustrin kommer vikten av aluminiumoxid keramiska komponenter i industrikedjan att bli mer framträdande.

När chipfunktionsstorleken minskar har halvledarutrustning strängare krav på komponenter, och dess täthet, enhetlighet, korrosionsmotstånd etc. måste vara högre. Under de senaste åren har inhemska och utländska forskare utvecklat en mängd nya processer för att förbättra sintringsförhållandena för keramiska aluminiumoxidmaterial, så att de kan uppnå snabb densifiering av material vid lägre sintringstemperaturer, såsom självförökande högtemperatur sintring, blixt, kall sintring och oscillerande tryck sintring. Bland dem är kall sintring att lägga till ett övergående lösningsmedel i pulvret och applicera ett stort tryck (350 ~ 500MPa) för att förbättra omarrangemanget och diffusionen mellan partiklar, så att det keramiska pulvret kan sintras och tätas vid en lägre temperatur (120 ~ 300 ℃) och en kortare tid.

För närvarande har Global Integrated Circuit Manufacturing Process utvecklats till en mer avancerad process på 3-nanometernivå. Halvledarutrustning och halvledarutrustning Precisionskomponenter måste kontinuerligt utvecklas och uppgraderas, och processförbättringar måste göras för att tillgodose nedströms tillverkningsbehov. När halvledarutrustning har uppdaterats kommer de specifika kraven för ny utrustning för komponenter att förändras synkront. Med utvecklingen av halvledarteknologi blir prestandakraven för aluminiumoxid keramiska komponenter högre och högre, inklusive högre slitstyrka, hög temperaturmotstånd och bättre elektrisk isolering. Branschtrender tenderar att utveckla högre renhet, finare struktur av aluminiumoxidpulver och anta avancerade beredningstekniker.

Aluminiumoxid keramikhar mycket höga renhetskrav när de används inom halvledarfältet, i allmänhet större än 99,5%. Inom halvledarfältet är aluminiumoxid keramiska delar en av de viktigaste delarna av halvledarutrustning. De flesta av dem används i kamrar närmare skivan. I halvledarutrustning klassificeras de med användning och är huvudsakligen uppdelade i ringformade cylindrar, luftflödesguider, bärande fasta, handgreppade packningar, moduler etc.

I etsningsprocessen, för att minska föroreningen av skivan under plasma-etsning, väljs hög renhets aluminiumoxidbeläggningar eller aluminiumoxid keramik med stark korrosionsbeständighet som skyddande material för etsningskammaren och kammarens foder.

I plasmarengöringsprocessen används frätande gaser som innehåller mycket reaktiva halogenelement såsom fluor och klor. Gasmunstycket är vanligtvis tillverkat av aluminiumoxidkeramik, som krävs för att ha hög plasmotstånd, dielektrisk styrka och stark korrosionsbeständighet mot bearbetningsgaser och biprodukter. Samtidigt används den inre precisionshålstrukturen för att noggrant kontrollera gasflödet.

I halvledartillverkningsprocessen kan skivan genomgå hög temperaturbehandling, såsom etsning, jonimplantation, etc. Som en bärare för skivöverföring kan aluminiumoxidskivbäraren säkerställa stabiliteten och säkerheten för skivan under överföringsprocessen. Alumining -skivbäraren har god värmeledningsförmåga och kan effektivt sprida och exportera värmen som genereras av skivan och därigenom skydda skivan från termisk skada.

Vid hanteringen av skivor kommer en keramisk robotarm tillverkad av aluminiumoxid keramik att användas. Det kommer att installeras på en skivhantering robot, vilket motsvarar robotens hand. Det ansvarar för att transportera skivan till den angivna platsen, och dess yta är i direktkontakt med skivan. Eftersom skivor är extremt mottagliga för föroreningar av andra partiklar utförs de i allmänhet i en vakuummiljö. I den här miljön har robotarnas armar i de flesta material i allmänhet svårt att slutföra arbetet. Materialen som används för att göra robotarmarna måste vara resistenta mot höga temperaturer, slitsträckta och ha hög hårdhet. På grund av kraven i arbetsförhållandena är de i allmänhet gjorda av extremt hög renhet av aluminiumoxid keramiska material, och noggrannheten och ytråheten hos keramiska delar måste garanteras.

Semicorex erbjuder högkvalitativKeramiska delar av aluminiumoxidi halvledare, inklusive SIC -beläggningar och TAC -beläggningar. Om du har några förfrågningar eller behöver ytterligare information, tveka inte att komma i kontakt med oss.

Kontakta telefon # +86-13567891907

E -post: sales@semicorex.com