Ledande belagda grafitvärmare

Deledande belagd grafitvärmareär en ny produkt utformad för halvledarbehandling med hög temperatur och andra vakuum termiska system. Den använder den goda termiska stabiliteten hos grafit med hög renhet och de utmärkta ytegenskaperna hos en kiselkarbidbeläggning (SIC). Ledande belagd grafitvärmare differentieras ytterligare av dess kväve-dopade SIC-skikt som erbjuder kraftigt förbättrad ytledningsförmåga, vilket gör det särskilt väl lämpat för applikationer som behöver kontrolleras och till och med uppvärmning med stor elektrisk prestanda.

Värmaren är konstruerad med ett höghållfast grafitunderlag, som fungerar som den kärnstrukturella och termiska ledaren. Grafiten valdes, särskilt med tanke på dess höga nivåer av värmeledningsförmåga, låg termisk expansionskoefficient och motståndskraft mot termisk chock. Dessa egenskaper gör grafit till ett lämpligt basmaterial i applikationer med hög temperaturprocess där det kan finnas snabb uppvärmning och kylningscykler. Emellertid är orörd grafit kemiskt reaktiv i vissa atmosfärer och kan uppleva ytskador eller nedbrytning, partikelemission eller överföring under utökad användning, särskilt i halvledarens renrumsmiljöer.

För att övervinna dessa begränsningar är grafitdelen belagd med ett tjockt SIC-skikt med hög renhet. SIC -beläggningen tjänar flera funktioner: det ger en skyddsnivå mot oxidation och kemisk korrosion, den ger en mycket hård, slitstarlig yta och den säkerställer kompatibilitet med vakuum- och renrumsstandarder. SIC har ett rykte för extrem hårdhet, hög värmeledningsförmåga och kemisk inerthet; Av denna anledning är det ett utmärkt beläggningsmaterial för högpresterande termiska komponenter.

Den unika innovationen av denna produkt är kvävedopningen av SIC -beläggningen. Under processen för kemisk ångavsättning (CVD) är kväveatomer inbäddade i SIC -gitteret, producerar fria bärare, som dramatiskt kan minska dess ytresistivitet, och därför skapa ett ledande ytskikt och tillåta ström att passera direkt, snarare än att använda en åtkomstpunkt, genom SIC -täcken, och därmed möjliggöra hela grafitkomponenten till ACT som ett resistivt element.

KlassiskSic -beläggningarär insulativa, vilket verkligen begränsar dem i ramen för aktiva elektriska applikationer. Omvänt har det kväve-dopade SIC-skiktet på värmaren en extremt låg ytmotstånd samtidigt som alla mekaniska och kemiska fördelar med klassisk SIC bibehålls. Det ledande skiktet ger mycket god ström enhetlighet och minimerar effektförlust samtidigt som termisk fördelning förbättras på värmarytan. Det är särskilt idealiskt för precisionsuppvärmningstillämpningar under förhållanden som ofta är associerade med epitaxiella reaktorer, diffusionsugnar och snabb utrustning för termisk bearbetning (RTP).

Värmaregeometri, vanligtvis spiral eller serpentin som visas på bilden, är utformad och optimerad med avsikt att producera enhetlig termisk utgångsenergi och enhetlig elektrisk belastning. Med den integrerade utformningen av grafiten och ledande SIC -beläggning kan elektriska kontakter göras direkt på den belagda ytan som eliminerar behovet av ytterligare elektroder eller metallanslutning. Detta minskar föroreningsrisker och resulterar i en enklare montering. Följaktligen förbättras den totala effektiviteten.

Viktiga fördelar med det ledandeSIC-belagd grafitvärmareomfatta:

Utmärkt elektrisk konduktivitet på grund av kvävedopning, vilket möjliggör likströmflöde och effektiv resistiv uppvärmning.

Överlägsen termisk enhetlighet med exakt temperaturkontroll över hela ytan.

Hög kemisk resistens, särskilt i frätande miljöer såsom väte, ammoniak eller halogenrika atmosfärer.

Minimal partikelproduktion, uppfyller de stränga renhetskraven för halvledarskapning.

Utökad livslängd på grund av den mekaniska hållbarheten och termiska chockmotståndet för både grafitkärnan och SIC -beläggningen.

Ansökningarna för denna värmare sträcker sig över ett antal avancerade teknikindustrier. Värmaren kommer att hitta en plats i halvledartillverkningsprocesser som kemisk ångavsättning (CVD), molekylär strålepitaxi (MBE) och skiva glödgning, där exakt temperaturkontroll och renhet av material är kritiska. Den SIC-belagda grafitvärmaren kan också användas vid fotovoltaisk produktion, sintring av avancerad keramik och i andra termiska processer där högre prestanda, hållbarhet och robusta värmare krävs.

Sammanfattningsvis är den ledande SIC-belagda grafitvärmaren en imponerande framsteg i utvecklingen av termiska komponenter. Genom att använda en kväve-dopad SIC-beläggning har vi utvecklat en effektiv termisk produkt, som framgångsrikt kombinerar den kemiska stabiliteten hos SIC-beläggningen med elektrisk konduktivitet. Således producerar en termisk process som är mer effektiv, renare och mer tillförlitlig för de mest krävande industriella tillämpningarna. Halvledaren och materialindustrin står inför fortsatt förändring och hybridmaterial av detta slag kommer att bli allt viktigare för att möjliggöra framtida mer avancerade tekniker för tillverkning.

Semicorex erbjuder högkvalitativgrafitvärmare med beläggningProdukter. Om du har några förfrågningar eller behöver ytterligare information, tveka inte att komma i kontakt med oss.

Kontakta telefon # +86-13567891907

E -post: sales@semicorex.com