Vad är det för skåra på wafers?

Skivans skåra är ett V-format eller U-format spår på kanten av enhalvledarskiva. Långt ifrån att vara en defekt som uppstått under tillverkningsprocessen, är det den kritiska strukturella markören som avsiktligt utformades, vars kärnfunktion ligger i att möjliggöra exakt positionering och orienteringsidentifiering av wafern. Wafer flat användes som orienteringsmarkering i de tidiga stadierna av waferteknologisk utveckling. Men när waferstorlekarna gradvis ökade, upptog den platta kantdesignen mer effektiv yta och ersattes således gradvis av den mer kompakta skåran.

Vilken funktion har waferskåran? 

Chiptillverkning är en process i nanometerskala, där varje riktningsavvikelse kan leda till kretsfel. Den fungerar som en orienteringsmarkering och möjliggör litografi och etsmaskiner som snabbt identifierar kristallorienteringen av wafern, vilket säkerställer exakt inriktning av varje processsteg. Varje chip placeras på skivan enligt en skåra, liknande nollmeridianen. Denna geniala design gör att kretsmönster kan litograferas och läggas ut med skåran som referensdatum. Dessutom förlitar sig robotarmar på skivans skåra för att särskilja skivans fram- och baksida och orientering i högautomatiserad produktionslinje, vilket avsevärt förhindrar skador på skivan eller processfel orsakade av felaktig användning. Om skåran skulle bli förorenad eller skadad, kan hela wafern avvisas som icke-överensstämmande.

Skivans skåra spelar också en avgörande roll för att förbättra spåntillverkningsutbytet. Eftersom skivans kanter är benägna att få defekter såsom glidlinjer och sprickor under tillverkningen, gör exakt positionering via skåror att utrustningen noggrant kan undvika dessa defekta områden, vilket minskar avfallet. Moderna produktionslinjer använder också teknologier som rotation av luftfjädring för kantsökning. Den fungerar som en markör för beröringsfri detektering och undviker inte bara kontaminering orsakad av mekanisk kontakt utan förbättrar även identifieringseffektiviteten och noggrannheten.

Semicorex tillhandahållerwafers av hög kvalitet. Om du har några frågor eller behöver ytterligare information, tveka inte att kontakta oss.

Kontakta telefonnummer +86-13567891907

E-post: sales@semicorex.com