Vilken funktion har fokusringar?

Fokusringar är de väsentliga komponenterna för att säkerställa enhetlighet och stabilitet i halvledaretsningsprocesserna. Genom exakt kontroll av elektriska och termiska fält kan fokusringar koncentrera plasma på waferns yta, vilket säkerställer konsekventa etsningsresultat över alla platser på wafern.

Fokusringarnas funktioner

1. Förbättra etsningens enhetlighet

I etsningsprocessen kan fokusringar koncentrera plasma pårånyta, som effektivt garanterar enhetlig plasmadensitet, jonbombardementsvinkel och energinivåer över både waferkanten och mittområdena. De korrigerar det elektriska fältfördelningen vid skivans kant, vilket minskar etsningshastighet, kritisk dimension och morfologivariationer orsakade av kanteffekter, vilket säkerställer etsningskonsistens över hela skivans yta. Om fokusringen är överdrivet sliten eller om det inte finns någon fokalring, kommer plasma att diffundera från skivans kant, vilket i slutändan orsakar icke-överensstämmande avvikelser i linjebredden mellan kant- och mittområdena.

2. Skydda den elektrostatiska chucken

Fokusringar är vanligtvis installerade utanför waferbärarytan på de elektrostatiska chuckarna, direkt utsatta för plasmabombardement och korrosion. Denna delinstallation fungerar som den fysiska barriären för att förhindra att plasma kommer i kontakt med de elektrostatiska chuckarna under etsningsprocessen, vilket avsevärt minskar risken för plasmaskador. Fokusringar kan också förhindra biprodukter som genereras under etsningsprocessen från att fästa vid de elektrostatiska chuckarna och på så sätt undvika prestandaförsämring orsakad av chuckkontamination och igensättning. Detta förlänger de elektrostatiska chuckarnas underhållscykel och livslängd avsevärt, vilket minskar kostnaderna för underhåll och utbyte av utrustning.

Fokusringar är vanligtvis gjorda av hög renhetkvarts, kiselochkiselkarbidmaterial. Tack vare deras utmärkta omfattande prestanda blir kiselkarbidmaterial gradvis det vanliga alternativet för banbrytande etsningsprocesser. Som en pålitlig leverantör av halvledarfokusringar i Kina erbjuder Semicorex hög kvalitetfokusringar av kiselkarbidav olika storlekar för att matcha de olika kraven på etsningsutrustning. Semicorex välkomnar dina förfrågningar och köp när som helst.