Porös aluminiumoxid vakuumchuck

Vakuumchucken är ansluten till vakuumutrustningen via ett anslutningsrör. När vakuumchucken kommer i kontakt med arbetsstycket, såsom en wafer/tunnfilmsmaterial, börjar vakuumutrustningen arbeta, vilket skapar ett undertryck inuti vakuumchucken. Under atmosfäriskt tryck fäster arbetsstycket stadigt på vakuumchucken, vilket möjliggör bearbetning. När bearbetningen är klar slutar vakuumutrustningen att fungera och fyller sakta vakuumchucken med gas, vilket automatiskt separerar arbetsstycket från chucken. Detta avslutar fastspänningen, bearbetningen och hanteringen av arbetsstycket.

Kärnmålet med halvledarfotolitografi är att "skriva ut" miljarder transistorkretsmönster på en wafer med precision på nanometernivå. Kärnan i "fotolitografi" är att använda en ljuskälla för att bestråla mycket ljuskänslig fotoresist, vilket orsakar en kemisk reaktion som etsar kretsen. Men när ljuskällan bestrålar wafern, lyser den oundvikligen också på den elektrostatiska chucken, som fungerar som waferbärare. Det resulterande reflekterade sekundära ljuset kan störa fotolitografiprocessen, orsaka exponering i oavsiktliga områden och skada kretsen. Därför minimerar en svart yta för vakuumchucken reflektion, vilket säkerställer precisionskraven för fotolitografisystemet. Baserat på denna förmåga kan svart aluminiumoxid användas i stor utsträckning, inte bara i elektrostatiska chuckar utan också i "ljusdämpande" scenarier. Tillkomsten av AI-eran har möjliggjort betydande utveckling av optiska kommunikationstillämpningar, och svarta aluminiumoxidsubstrat ses ofta i förpackningen av optoelektroniska enheter och ljusemitterande element.

Svart aluminiumoxid keramikär gjord i huvudsak av Al2O3, med övergångsmetalloxider som färgämnen och sintringshjälpmedel tillsatta, sintrade vid en specifik temperatur. Färgämnet är en avgörande komponent i denna typ av keramik, som bestämmer dess slutliga färg. När du väljer färgämnen för vakuumchuckar är det viktigt att säkerställa graden av färg, mekanisk styrka, porositet och porstorlek hos vakuumchucken.

För närvarande är vanliga övergångsmetalloxider som färgämnen både nationellt och internationellt bland annat Fe2O3, CoO, NiO, Cr2O3 och MnO2, där Fe2O3, CoO, NiO och MnO2 är de vanligaste. Eftersom aluminiumoxid är mindre flyktig vid höga temperaturer, medan övergångsmetalloxider är motsatsen, ökar deras flyktighet med temperaturen. Dessa oxider bildar föreningar av spinelltyp under högtemperatursintring, vilket minskar deras flyktighet. För att undertrycka förångningen av övergångsmetalloxider bör därför lämpliga processbetingelser väljas så att de kan kombineras till föreningar av spinelltyp vid lägre temperaturer.

Semicorex erbjuder tullporös keramisk vakuumchuck. Om du har några frågor eller behöver ytterligare information, tveka inte att kontakta oss.

Kontakta telefonnummer +86-13567891907

E-post: sales@semicorex.com