Strukturella skillnader mellan olika typer av reaktorer

Baserat på reaktionskammarkonfigurationen är värmebehandlingsutrustning (ugnsrörsutrustning) huvudsakligen indelad i tre kategorier: vertikala ugnsrör, horisontella ugnsrör och ugnar för snabb termisk bearbetning (RTP).

Vertikala ugnsrör har vertikalt anordnade kvartsrör, med skivorna placerade runt rören för uppvärmning. Deras främsta fördelar är enhetlig temperaturfördelning, exakt atmosfärskontroll, hög automatisering, mindre partikelförorening, litet fotavtryck och stöd för batchbearbetning (särskilt lämplig för 12-tums wafers), vilket gör dem till den vanliga utrustningen som finns tillgänglig för närvarande. Den globala marknadsstorleken nådde 3,2 miljarder USD 2024 (SEMI-data). Deras nackdelar inkluderar enkel gas-vätskeseparation och det nedåtgående flödet av mediet som potentiellt kan orsaka att ugnsröret brinner ut.

Horisontella ugnsrör har horisontellt placerade kvartsrör som bearbetar 100-200 wafers åt gången. Deras fördelar inkluderar enhetligt gas-vätskeflöde i ugnsröret och mer exakt temperaturkontroll. Deras nackdelar inkluderar ett större fotavtryck och en högre förbrukning av mellanrörsstöd av höglegerat stål. Strukturellt placerar horisontella ugnsrör skivorna vertikalt i horisontella rör för bearbetning.

Ugnar för snabb termisk glödgning (RTP) använder infraröda halogenlampor för att snabbt värma enstaka wafers, vilket erbjuder snabba uppvärmnings- och kylningshastigheter som endast ändrar wafertemperaturen utan att ändra kammartemperaturen. De är lämpliga för snabbglödgning i små partier men inte för massproduktion.

Vid waferbearbetning placerar horisontella ugnsrör wafern på en kvartsbåt, som i sin tur vilar på en stödram av kiselkarbid (SiC). Stödramen skjuts sedan in i kvartsugnsröret, där skivan genomgår reaktionen i en zon med konstant temperatur. Vertikala ugnsrör, å andra sidan, placerar wafern på ett kvartstorn och höjer det långsamt in i kvartsugnsröret för bearbetning. Efter reaktionen sänks skivan långsamt för att förhindra böjning eller brott.

Semicorex levererar högkvalitativa kundanpassadekvartsugnsreaktor. Våra produkter är konstruerade för att leverera överlägsen termisk stabilitet, förlängd livslängd och exceptionell processkonsistens. För skräddarsydda lösningar eller ytterligare teknisk information, kontakta gärna vårt ingenjörsteam.

Telefon: +86-13567891907

E-post: sales@semicorex.com