Vad är cantilever paddlar?

Under bearbetning av halvledarskivor används specialiserade ugnar för att värma skivorna. Dessa ugnar innehåller långsträckta cylindriska rör där skivorna placeras på waferbåtar på förutbestämda och lika långt avstånd. För att säkerställa att bearbetningsutrustningen inte slösar bort skivorna och för att motstå bearbetningsförhållandena i kammaren, tillverkas waferbåtar och andra enheter som används vid waferbearbetning av material som kiselkarbid (SiC).

Waferbåtarna, lastade med en sats av wafers som ska bearbetas, är placerade på långa fribärande paddlar. Dessa skovlar kan sättas in i och dras ut från de rörformiga ugnarna och reaktorerna. Paddlarna består av en tillplattad bärarsektion som rymmer en eller flera båtar och ett långt handtag placerat i ena änden av den tillplattade bärarsektionen för enkel hantering.

För de bästa komponenterna inom halvledarbearbetning, rekommenderas att använda en fribärande paddel gjord av omkristalliserad kiselkarbid med ett tunt CVD SiC-skikt. Detta material är av hög renhet och är det bästa valet för sådana komponenter.

Semicorex tillverkar skräddarsydda fribärande paddlar med högkvalitativ CVD SiC-beläggning. Om du har några frågor eller behöver ytterligare information, tveka inte att kontakta oss.

Kontakta telefonnummer +86-13567891907

E-post: sales@semicorex.com