2023-11-10
Inom halvledarindustrin används kvarts i stor utsträckning, och kvartsprodukter med hög renhet är ännu viktigare förbrukningsmaterial vid waferproduktion. Tillverkningen av enkristalldeglar av kisel, kristallbåtar, diffusionsugnskärnrör och andra kvartskomponenter måste använda kvartsglasprodukter med hög renhet. Kvartsdelar inom halvledarområdet, de viktigaste målmarknadsapplikationerna för spridnings- och etsningsprocess för wafergjuteri, kan delas in i två kategorier av högtemperaturzonenheter och lågtemperaturzonenheter, kommer att använda de viktigaste enheterna som följer:
1) Högtemperaturzonanordningar är huvudsakligen diffusionsoxidation och andra aspekter av användningen av ugnsrör, glasbåtställ, etc., måste vara i en högtemperaturmiljö, direkt eller indirekt i kontakt med kiselskivan; främst anskaffning av elektrosmält kvartsglasmaterial, framställt genom termisk bearbetning;
2) Lågtemperaturzonanordningar är huvudsakligen etsningslänkar såsom kvartsringar, men inkluderar också rengöringsprocesskorgar, rengöringstankar, etc., som huvudsakligen används i lågtemperaturmiljöer; huvudsakligen köpt gas raffinering kvartsglas, genom kall bearbetning produktion
Bland dem förbrukar högtemperaturzonenheterna snabbare, men liknar multichipmaskinen (en bärare för att bära mer än en wafer), förbrukar lågtemperaturzonenheterna långsammare, men monolitiskt (en bärare för att bära en wafer) ; därför ligger de två övergripande marknadsstorlekarna relativt nära varandra.