Vad är en SiC-båt, och vilka är dess olika tillverkningsprocesser?

1. De olika tillverkningsprocesserna förSiC båt

(1) Belägga ett lager avSiC-filmpå ytan av grafitkristallbåtargenom CVD

Denna typ av båt har en grafitkärna, som är bearbetad i ett stycke. Dock,grafit är poröstoch benägna att generera partiklar, vilket kräver tillämpning av enSiC-filmbeläggningpå dess yta. På grund av obalansen i termisk expansionskoefficient (CTE) mellan grafitkroppen ochSiC-film, kommer beläggningen sannolikt att lossna efter flera uppvärmnings- och kylcykler, vilket leder till partikelkontamination. Dessa båtar är de billigaste och har en livslängd på cirka ett år.

(2) Belägga ett lager avSiC-filmomkristalliserasSiC kristallbåtar

OmkristalliseradSiC-båtarär också porösa och kan lätt generera partiklar. Därför omkristalliserades de individuella komponenternaSiC-båtarmåste förformas, sintras och sedan bearbetas separat. Därefter binds komponenterna samman vid höga temperaturer med hjälp av Si-pasta. När den väl är sammansatt till en enda båt, enSiC-filmappliceras genom CVD. Detta omkristalliseradesSiC båthar den längsta tillverkningsprocessen och är kostsam, men ytanCVD-beläggningkan också skadas, med en livslängd på cirka tre år.

(3)MonolitiskSiC kristallbåtar

Dessabåtarär helt sammansatta av SiC-material. SiC-pulver måste formas och sintras till formen av en monolitisk båt. Extremt dyra, de är mycket hållbara och mindre benägna att generera partiklar. Dessa båtar innehåller dock 10-15 % fritt kisel, som är känsligt för erosion av fluor och klor, vilket leder till partikelkontamination.

2. Varför rekommenderas inte kemtvätt?

Sammanfattningsvis förSiC-båtarbelagd med enSiC-film genom CVD, ytbeläggningen är benägen att flagna under kemtvätt, vilket orsakar partikelkontamination. För monolitiskSiC-båtarsom innehåller en liten mängd fritt kisel, kan exponering för gaser som innehåller fluor eller klor leda till erosion och partikelbildning, vilket kan orsaka kontaminering.**