Varför välja SiC-belagda grafitsusceptorer?

Grafit susceptorär en av de väsentliga delarna i MOCVD-utrustningen, är bäraren och värmaren för wafersubstratet. Dess egenskaper av termisk stabilitet och termisk enhetlighet spelar en avgörande roll för kvaliteten på wafer epitaxitillväxt, som direkt bestämmer enhetligheten och renheten hos skiktmaterialen, vilket resulterar i att dess kvalitet direkt påverkar beredningen av epitaxi. Under tiden, med det ökade antalet användningar och förändringar i arbetsförhållandena, är det mycket lätt att förlora och tillhör förbrukningsvarorna. Grafitens utmärkta värmeledningsförmåga och stabilitet gör det till en bra fördel somen baskomponent för MOCVD-utrustning. Men om bara ren grafit används kommer det att ställas inför vissa problem. Det kommer att finnas korrosiv gas och metallorganiska rester i produktionsprocessen, och grafitbasen kommer att korrodera och släppa av pulvret, vilket avsevärt minskar livslängden förgrafit susceptor, och det fallna grafitpulvret kommer också att orsaka förorening av chipet, så i beredningsprocessen av basen också Dessa problem måste lösas under beredningen av basen. Beläggningstekniken kan ge ytpulverfixering, förbättra värmeledningsförmågan och utjämna värmefördelningen, vilket blir den huvudsakliga tekniken för att lösa detta problem. Den huvudsakliga tekniken är att lösa detta problem. Enligt applikationsmiljön och kraven förgrafitsusceptorer, bör ytbeläggningen ha följande egenskaper.

Höga densiteter och full omslag: grafitbasen som helhet befinner sig i en hög temperatur, korrosiv arbetsmiljö, ytan måste vara helt omslagen, medan beläggningen måste ha bra densitet för att spela en bra skyddande roll.

Bra ytplanhet: Eftersom grafitbasen som används för enkristalltillväxt kräver en mycket hög ytplanhet måste basens ursprungliga planhet bibehållas efter att beläggningen preparerats, dvs beläggningsytan måste vara enhetlig.

God bindningsstyrka: Att minska skillnaden i termisk expansionskoefficient mellan grafitbas och beläggningsmaterial kan effektivt förbättra bindningsstyrkan mellan dem, och beläggningen är inte lätt att spricka efter termiska cykler med hög och låg temperatur.

Hög värmeledningsförmåga: Högkvalitativ spåntillväxt kräver snabb och jämn värme från grafitbasen, så beläggningsmaterialet bör ha hög värmeledningsförmåga.

Hög smältpunkt, hög temperaturoxidation och korrosionsbeständighet: Beläggningen ska kunna fungera stabilt i hög temperatur och korrosiva arbetsmiljöer.