> Nyheter

Nyheter

Kärnparametrarna i torretsning

Torretsning är en huvudteknik i tillverkningsprocesserna för mikroelektromekaniska system. Utförandet av torretsningsprocessen utövar ett direkt inflytande på den strukturella precisionen och driftsprestandan hos halvledarenheter. För att exakt styra etsningsprocessen måste noggrann uppmärksamhet äg......

Läs mer

Varför böjs sidoväggarna vid torretsning

Torretsning är vanligtvis en process som kombinerar fysikaliska och kemiska handlingar, med jonbeskjutning som en avgörande fysisk etsningsteknik. Under etsning kan jonernas infallsvinkel och energifördelning vara ojämn.

Läs mer

Vad är den aerostatiska glidbanan av kiselkarbid?

Aerostatisk glidbana av kiselkarbid är ett avancerat styrsystem som kombinerar materialegenskaperna hos kiselkarbid och aerostatisk teknik. Betjäning som den optimala lösningen för högprecision, hög tillförlitlighet och långsiktiga rörelsesystem, används kiselkarbid aerostatisk glidbana i stor utstr......

Läs mer

SiC-kristaller framställda med PVT-metoden

Den vanliga metoden för att framställa enkelkristaller av kiselkarbid är den fysiska ångtransportmetoden (PVT). Denna metod består huvudsakligen av ett kvartsrörshålrum, ett värmeelement (induktionsspole eller grafitvärmare), grafitkolfiltisoleringsmaterial, en grafitdegel, en kiselkarbidfrökristall......

Läs mer

Vad är SOI?

SOI, förkortning för Silicon-On-Insulator, är en halvledartillverkningsprocess baserad på speciella substratmaterial. Sedan dess industrialisering på 1980-talet har denna teknik blivit en viktig gren av avancerade halvledartillverkningsprocesser. SOI-processen kännetecknas av sin unika treskiktskom......

Läs mer

Ytbehandling för avancerad elektrostatisk chuck

Den elektrostatiska chucken åtar sig flera funktioner såsom enhetlig elektrostatisk urladdning, värmeledning och waferadsorption och fixering inom halvledartillverkning. En av kärnfunktionerna hos ESC är att stabilt adsorbera wafers under extrema driftsförhållanden som högt vakuum, stark plasma och ......

Läs mer

<1 2 3 4 5...47 >