TAC -belagd degel i Sic Crystal Growth

De senaste åren,TAC belagdCLECIBLES har blivit en viktig teknisk lösning som reaktionsfartyg i tillväxtprocessen för kiselkarbidkristaller (SIC). TAC -material har blivit nyckelmaterial inom området kiselkarbidkristalltillväxt på grund av deras utmärkta kemiska korrosionsbeständighet och hög temperaturstabilitet. Jämfört med traditionella grafitskor, ger TAC -belagda kelar en mer stabil tillväxtmiljö, minskar effekten av grafitkorrosion, förlänger degelns livslängd och undviker effektivt fenomenet kolförpackning och därmed minskar densiteten hos mikrotuben.

 Fig.1 Sic Crystal Growth

Fördelar och experimentell analys av TAC-belagda klyftor

I denna studie jämförde vi tillväxten av kiselkarbidkristaller med användning av traditionella grafitskor och grafitskor belagda med TAC. Resultaten visade att TAC-belagda klättringar avsevärt förbättrar kristallernas kvalitet.

Fig.2 Om Bild av Sic Ingot odlad med PVT -metod

Figur 2 illustrerar att kiselkarbidkristaller som odlas i traditionella grafitskor visar ett konkavt gränssnitt, medan de som odlas i TAC-belagda Cudelbles uppvisar ett konvext gränssnitt. Såsom framgår av figur 3 uttalas dessutom det kantpolykristallina fenomenet i kristaller som odlas med traditionella grafitskor, medan användningen av TAC-belagda korska mitigerar denna fråga effektivt.

Analysen indikerar attTAC -beläggninghöjer temperaturen vid kanten av degeln och minskar därmed tillväxttakten för kristaller i det området. Dessutom förhindrar TAC -beläggningen direkt kontakt mellan grafitens sidovägg och kristallen, vilket hjälper till att mildra kärnbildning. Dessa faktorer minskar kollektivt sannolikheten för polykristallinitet som förekommer vid kristallens kanter.

Fig.3 OM -bilder av skivor i olika tillväxtstadier

Dessutom odlade kiselkarbidkristallerna inTAC-belagdKorska uppvisade nästan ingen koldioxidinkapsling, en vanlig orsak till mikropipefel. Som ett resultat visar dessa kristaller en signifikant minskning av mikropipens defektdensitet. Korrosionstestresultat som presenteras i figur 4 bekräftar att kristaller som odlas i TAC-belagda kelkar har praktiskt taget inga mikropipe-defekter.

Fig.4 OM -bild efter Koh -etsning

Förbättring av kristallkvalitet och föroreningskontroll

Genom GDM: er och halltester av kristaller fann studien att TA -innehållet i kristallen ökade något när TAC -belagda korska användes, men TAC -beläggningen begränsade signifikant intrång av kväve (n) doping i kristallen. Sammanfattningsvis kan TAC -belagda kelkar odla kiselkarbidkristaller med högre kvalitet, särskilt för att minska defektdensiteten (särskilt mikrotub och kolinkapsling) och kontrollera kvävedopkoncentration.

Semicorex erbjuder högkvalitativTAC-belagd grafitgelför Sic -kristalltillväxt. Om du har några förfrågningar eller behöver ytterligare information, tveka inte att komma i kontakt med oss.

Kontakta telefon # +86-13567891907

E -post: sales@semicorex.com