Kiselkarbidbåt

Bakom varje hög temperaturprocess inom skivtillverkning ligger en tyst men ändå avgörande spelare: skivbåten. Som kärnbäraren som direkt kontaktar kiselskivan under skivbehandlingen är dess material, stabilitet och renhet direkt relaterade till det slutliga chiputbytet och processstabiliteten. Bland olika transportmaterial,kiselkarbid (sic)Båtar ersätter gradvis traditionella kvartslösningar och blir den föredragna lösningen för avancerade processer och avancerad utrustning.

Varför sic wafer båtar?

Med utvecklingen av processnoder under 7nm och utvidgningen av hög temperaturprocessfönster, kämpar traditionella kvartsskivbåtar alltmer när det gäller termisk stabilitet, partikelkontroll och livslängdshantering.

Kiselkarbidbåtar får emellertid gradvis framträdande på grund av följande fördelar:

1. Stabla vid höga temperaturer:

De erbjuder långsiktiga driftstemperaturer på 1350-1600 ° C, vilket enkelt hanterar mainstream-processer som CVD, diffusion och glödgning. Till och med kort exponering för temperaturer på 1800 ° C visar ingen mjukning eller deformation, vilket gör dem lämpliga för högre utrustning såsom enkelkristallkiselkarbidugnar.

2. Låg expansion och hög termisk chockstabilitet:

Med en låg värmekoefficient kan de motstå snabba temperaturökningar och minska, vilket minimerar strukturell sprickbildning orsakad av termisk stress. De upprätthåller utmärkt morfologi och prestanda i högtemperatur, komplexa atmosfärer (såsom väte, kväve, ammoniak och fluorider).

3. Sen yta och extremt låg förorening:

Hög materiell renhet med minimala metallföroreningar. Låg ytråhet, förhindrar sekundär förorening av kiselskivor; Utmärkt ytråhetskontroll, med RA under 0,1 um, undertrycker partikelutgjutning och uppfyller renrumskraven i avancerade processer;

4. gjutning i ett stycke, Precisionsmaskinskiva båtstrukturer kan bildas direkt genom mögelfri3D -tryckning, eliminera behovet av formar, avsevärt förbättra anpassningseffektiviteten; Kombinerat med femaxelbearbetning och trådskärningsteknik är båtens tänder sprickfria, förhindrar repor på skivorna och säkerställer smidig automatiserad hantering;

5. Hög styrka och lång livslängd: 

En enda båt har hög bärande styrka och kan samtidigt stödja dussintals till hundratals 12-tums skivor. Jämfört med traditionella kvartsbåtar är båtens genomsnittliga livslängd 5-10 gånger längre, vilket minskar utrustningsfrekvensen och den totala ägandekostnaden.

Applikationsscenario

Den breda anpassningsförmågan hoskiselkarbidbåtarUtökar sin tillämpning utöver halvledarfältet till en mängd högtemperaturprocessscenarier, inklusive nya energimaterial, LED-tillverkning och kärnkraftsforskning.

Halvledarindustri

Det är lämpligt för nyckelprocesser såsom oxidation, diffusion, CVD-avsättning och jonimplantation, vilket gör det till en oumbärlig högtemperaturbärare för under-7nm processlinjer.

Fotovoltaisk industri

I nya batteriteknologier som TOPCON och HJT används skivbåtar i högtemperaturugnsprocesser såsom LPCVD och glödgning, vilket hjälper till att förbättra energieffektiviteten och omvandlingsgraden.

Tredje generationens halvledare

För GaN- och Sic -epitaxiella tillväxtprocesser i lysdioder stöder de safir- eller kiselkarbidunderlag. De tål frätande gaser som NH₃ och HCL, vilket stöder tillverkning av högfrekventa kraftanordningar.

Nya energimaterial och forskning Högtemperaturplattform

Stöder den sintrande reaktionen av litiumbatteri -katodmaterial och värmebehandling av kärnindustrimaterial, som kombinerar värmebeständighet, korrosionsbeständighet och renlighet.

Semicorex erbjuder hög renhetAnpassade SIC -skivbåtar. Om du har några förfrågningar eller behöver ytterligare information, tveka inte att komma i kontakt med oss.

Kontakta telefon # +86-13567891907

E -post: sales@semicorex.com