Varför introduceras CO2 under Wafer Saw Process

Att introducera CO₂ till tärningsvattnet är en betydande teknisk åtgärd i skivsågsprocessen för att undertrycka ackumulering av statisk elektricitet och minska kontaminering, och därigenom förbättra tärningsutbytet och tillförlitligheten hos spånen.

Eliminera statisk elektricitet

rånråntärningsprocessen kräver användning av höghastighetsroterande diamantklingor för skärning, medan DI-vatten sprutas för kylning och rengöring. Under denna process genererar friktion en stor mängd statisk laddning. Samtidigt genomgår DI-vatten svag jonisering under högtryckssprutning och kollision, vilket genererar ett litet antal joner. Kiselmaterial i sig har egenskapen att lätt ackumulera elektrisk laddning. Om denna statiska elektricitet inte kontrolleras kan dess spänning stiga till över 500V, vilket leder till elektrostatisk urladdning. Detta kan inte bara skada kretsens metallledningar eller orsaka dielektriska sprickor mellan skikten, utan också orsaka att kiseldamm förorenar skivan på grund av elektrostatisk adsorption eller orsaka problem med bindningslyft vid bindningsdynor.

När CO2 införs i vatten löses det upp och bildar H2CO3. H₂CO₃ genomgår jonisering för att producera H⁺ och HCO₃⁻, vilket avsevärt ökar vattnets ledningsförmåga samtidigt som det effektivt sänker dess resistivitet. Denna förhöjda ledningsförmåga tillåter snabb ledning av statiska laddningar till marken via vattenflödet, vilket förhindrar laddningsackumulering. Dessutom, som en svagt elektronegativ gas, kan CO₂ joniseras i högenergimiljöer för att generera laddade partiklar (som CO₂⁺ och O⁻). Dessa partiklar kan neutralisera laddningen som bärs av waferytor eller damm, och därigenom minska risken för elektrostatisk adsorption och elektrostatisk urladdning.

Minska kontaminering och skydda ytor

Kiseldamm som genereras underrånsågprocessen är benägen att ackumulera statisk elektricitet, som kan fästa vid skivan eller utrustningens yta och resultera i förorening. Samtidigt, om kylvattnet är alkaliskt, kommer det att orsaka metallpartiklar (som Fe-, Ni- och Cr-joner i rostfritt stål) att bilda hydroxidfällningar. Hydroxidfällningar kommer att avsättas på skivans yta eller i tärningskanalerna, vilket påverkar spånkvaliteten.

När CO₂ införs neutraliserar det elektriska laddningar, vilket försvagar den elektrostatiska kraften mellan damm och ytor. Samtidigt förhindrar CO₂-luftflödet sekundär vidhäftning genom att sprida damm i skärområdet. Tillsatsen av CO₂ skapar också en milt sur miljö som hämmar metalljonutfällning, håller dem lösta och gör det möjligt för vattenflödet att föra bort dem. Dessutom, eftersom CO₂ är en inert gas, minskar den kontakten mellan kiseldamm och syre, förhindrar dammoxidation och agglomeration och förbättrar skärmiljöns renhet ytterligare.

Semicorex erbjuder hög kvalitetoblatför våra uppskattade kunder. Om du har några frågor eller behöver ytterligare information, tveka inte att kontakta oss.

Kontakta telefonnummer +86-13567891907

E-post: sales@semicorex.com