Olika tillämpningar av kvarts i halvledartillverkning

Vid första ögonkastet,kvarts (SiO2) materialser väldigt likt ut som glas, men det speciella är att vanligt glas är sammansatt av många komponenter (som kvartssand, borax, borsyra, baryt, bariumkarbonat, kalksten, fältspat, soda etc.), medan kvarts bara innehåller SiO2 och dess mikrostruktur är ett enkelt nätverk som består av tetraedriska strukturenheter av kiseldioxid.

Eftersom mängden metallföroreningar som finns ikvartsär mycket liten och dess renhet är extremt hög, kvarts i sig har egenskaper och fördelar som andra glas inte kan visa, och är känd som "kronan" av glasmaterial. Till exempel när det gäller värmebeständighet kommer kvarts inte att explodera även om det omedelbart placeras i vatten efter att ha bränts rött i elden. Mer specifika fördelar är följande:

1. Hög temperaturbeständighet. Mjukningspunkten för kvartsglas är cirka 1730 ℃, och den kan användas under lång tid vid 1150 ℃, och den maximala temperaturen kan nå 1450 ℃ under en kort tid.

2. Korrosionsbeständighet. Förutom fluorvätesyra har kvarts med hög renhet nästan ingen kemisk reaktion med andra sura ämnen. Vid höga temperaturer kan den motstå korrosion från svavelsyra, salpetersyra, saltsyra, regenvatten, neutrala salter, kol och svavel. Dess syrabeständighet är 30 gånger högre än för keramik och 150 gånger högre än för rostfritt stål. Speciellt dess kemiska stabilitet vid höga temperaturer är oöverträffad av något annat tekniskt material.

3. Bra termisk stabilitet. Högren kvarts har en mycket liten termisk expansionskoefficient och tål drastiska temperaturförändringar. När kvarts med hög renhet värms upp till cirka 1100°C kommer den inte att explodera när den placeras i rumstempererat vatten.

4. Bra ljusgenomsläpplighet. Kvarts med hög renhet har bra ljustransmittans i hela spektrumet från ultraviolett till infrarött, och transmittansen för synligt ljus är över 93%, särskilt i det ultravioletta spektrumområdet, kan den maximala transmittansen nå mer än 80%.

5. Bra elektrisk isoleringsförmåga. Motståndsvärdet för kvarts med hög renhet motsvarar 10 000 gånger det för vanligt kvartsglas. Det är ett utmärkt elektriskt isoleringsmaterial och har goda elektriska egenskaper även vid höga temperaturer.

Tack vare dessa utmärkta fysikaliska och kemiska egenskaper används kvartsmaterial av hög renhet i stor utsträckning inom modern elektronisk teknik, halvledare, kommunikation, elektriska ljuskällor, solenergi, högprecisionsmätinstrument för nationella försvar, fysiska och kemiska laboratorieinstrument, kärnenergi, nanoindustrin, etc. I synnerhet i den snabbt växande halvledarindustrin har kiselwafers skala ökat, så chiptillverkare har en stor efterfrågan på olika kvartskomponenter. Det bör dock också noteras att för att förhindra kontaminering under bearbetningsprocessen måste den höga renheten hos kvartsmaterialet säkerställas under användning.

Inom halvledarindustrin,kvartsanvänds i stor utsträckning och kvartsprodukter med hög renhet är viktiga förbrukningsvaror i waferproduktion. Kvartsdelar som deglar, kristallbåtar och diffusionsugnskärnrör som används för att tillverka enkristaller av kisel måste använda kvartsglasprodukter med hög renhet. Den huvudsakliga målmarknadstillämpningen av kvartsdelar inom halvledarområdet är diffusions- och etsningsprocessen i wafergjuteri. De kan delas in i två kategorier: anordningar för högtemperaturzoner och anordningar för lågtemperaturzoner. De viktigaste enheterna som används är följande:

1. Högtemperaturzonanordningar är huvudsakligen ugnsrör, glasbåtar etc. som används i diffusionsoxidation och andra länkar, som måste vara direkt eller indirekt i kontakt med kiselskivor i en miljö med hög temperatur; de är huvudsakligen inköpta material av smält kvartsglas och produceras genom termisk bearbetning;

2. Lågtemperaturzonanordningar inkluderar huvudsakligen kvartsringar som används i etsningsprocessen, såväl som blomkorgar och rengöringstankar som används i rengöringsprocessen. De används främst i lågtemperaturmiljöer. De köper främst gasraffinerat kvartsglas och produceras genom kall bearbetning.

Semicorex erbjuder hög kvalitetkvartsdelarpå halvledarnivå. Om du har några frågor eller behöver ytterligare information, tveka inte att kontakta oss.

Kontakta telefonnummer +86-13567891907

E-post: sales@semicorex.com