Högren kvarts: ett oumbärligt material för halvledarindustrin

Högren kvarts har anmärkningsvärda fysikaliska och kemiska egenskaper. Dess inneboende kristallstruktur, form och gittervariationer bidrar till exceptionella egenskaper såsom högtemperaturbeständighet, korrosionsbeständighet, nötningsbeständighet, låg värmeutvidgningskoefficient, hög isolering, piezoelektriska effekter, resonanseffekter och unika optiska egenskaper. Dessa attribut gör det till ett oersättligt grundmaterial för utvecklingen av strategiska industrier och pelarindustrier.

Tillämpningen av högrent kvarts spänner över olika områden inklusive halvledare, solceller, optiska fibrer och elektriska ljuskällor. Bland dessa har halvledarindustrin den största andelen och står för en betydande 50% av dess användning.

I hjärtat av halvledartillverkning ligger chiptillverkning, som representerar det högsta förädlingssegmentet inom branschen. Chiptillverkning består i första hand av fyra steg: enkristalltillväxt, waferbearbetning och tillverkning, produktion av integrerade kretsar (IC) och förpackning. De mest kritiska, komplexa och krävande stegen, särskilt när det gäller materialkrav, är tillverkning av kiselwafer och waferbearbetning.

Kvartsmaterial med hög renhet, med sin exceptionella termiska stabilitet, syrabeständighet, låga termiska expansion och utmärkta spektraltransmittans, uppfyller perfekt de stränga kraven från halvledarindustrin när det gäller innehåll av alkalimetall och tungmetaller i bärarmaterial. Produktionsprocessen kräver en avsevärd volym av högkvalitativa kvartskomponenter, inklusive wafers, ringar, plattor, flänsar, etsade båtar, diffusionsugnsrör och rengöringstankar.

Högren kvarts som används i olika stadier av halvledarberedning

Tillämpning inom Silicon Wafer Manufacturing

Den primära tillämpningen av kvartsglas itillverkning av kiselwaferligger i produktionen avkvartsdeglar, väsentligt för Czochralski-processen (CZ) som används för att odla enkristallkiselgöt för wafertillverkning. Dessutom används kvartsrengöringsbehållare också.

Semicorex Smält kvartsdegel

Applikation i Wafer Processing

Under waferbearbetning, olika behandlingar somoxidation, epitaxi, litografi, etsning, diffusion, kemisk ångavsättning (CVD), jonimplantation och polering utförs på kiselwafers. Högrent kvartsglas, på grund av sin renhet, hög temperaturbeständighet, låg termisk expansion och korrosionsbeständighet, spelar en avgörande roll i dessa processer.

1)Diffusion och oxidation: Diffusionsrör i kvartsglasanvänds i stor utsträckning i dessa processer, tillsammans med tillhörande kvartsflänsar. Andra nyckelkomponenter inkluderarkvarts ugnsrör(för transportkvartsbåtarin och ut ur ugnen), kvartsbåtar (för att bära kiselwafers) och kvartsbåtställ. Bland dessa,diffusionsrör av kvartsglasär av största vikt, med sin renhet, motståndskraft mot deformation vid höga temperaturer och exakta geometri som direkt påverkar IC-kvalitet, kostnad och produktionseffektivitet.

Kvartsbåtaroch ställ fungerar som oumbärliga bärare för kiselwafers under diffusions-, oxidations-, CVD- och glödgningsprocesser. Dessa komponenter finns i olika specifikationer och storlekar, vanligtvis tillgängliga i horisontella och vertikala konfigurationer. Direkt kontakt med kiselskivor vid höga temperaturer kräver användning av högrent kvartsglas med utmärkt termisk stabilitet och dimensionell noggrannhet för dessa komponenter.

Semicorex kvartskomponenter för diffusionsugn

2)Etsning och rengöring:Etsningsprocessen kräver korrosionsbeständiga kvartsglasmaterial och komponenter, vilket leder till en betydande efterfrågan på kvartsringar, kvartsglasreaktionskammare och waferstöd. Dessutom använder syrarengöringen och ultraljudsrengöringsstegen kvartsglaskorgar respektive rengöringstankar, vilket drar fördel av materialets exceptionella kemiska stabilitet. Burkar med kvartsklockor används också under den epitaxiella tillväxten av kisel.

3)Fotolitografi:Högrent kvartsglas fungerar som det primära substratmaterialet för fotomasker, avgörande komponenter i fotolitografiprocessen. Anskaffningskostnaden för dessa substrat utgör betydande 90 % av den totala råvarukostnaden för fotomasker, vilket framgår av data från Qingyi Photomasks prospekt. Som högprecisionsverktyg för att överföra kretsmönster under tillverkningen av LCD-skärmar, halvledare och andra elektroniska enheter, påverkar fotomasker direkt precisionen och kvaliteten på slutprodukten. Detta kräver användning av syntetiska kvartsglas med ultrahög renhet som basmaterial för fotomasksubstrat.

Sammanfattningsvis har den unika kombinationen av egenskaper som uppvisar högrent kvarts cementerat sin position som ett oumbärligt material i halvledarindustrin. När tekniken går framåt och kraven på miniatyrisering och prestanda ökar, förväntas beroendet av högkvalitativa kvartsmaterial bara växa, vilket ytterligare befäster dess avgörande roll i att forma framtiden för elektronik.**

Semicorex, som en erfaren tillverkare och leverantör, tillhandahåller högrent kvartsmaterial för halvledar- och solcellsindustrin. Om du har några frågor eller behöver ytterligare information, tveka inte att kontakta oss.

Kontakta telefonnummer +86-13567891907

E-post: sales@semicorex.com