Vad är SOI

Silicon-on-sulator (SOI) är erkänt som en av lösningarna för att ersätta befintliga monokristallina kiselmaterial i nanoteknikeran och är ett viktigt verktyg för att upprätthålla Moores lag-trend. Silicon-on-sulator, en substratteknologi som ersätter traditionellt bulksubstratkisel med ett "konstruerat" substrat, har använts i mer än 30 år i specialiserade applikationer såsom militära och rymdelektroniksystem, där SOI har unika fördelar på grund av dess utmärkta strålningsmotstånd och höghastighetsegenskaper.

SOI-material är grunden för utvecklingen av SOI-teknik, och utvecklingen av SOI-teknik är beroende av den kontinuerliga utvecklingen av SOI-material. Bristen på lågpris, högkvalitativt SOI-material har varit den primära begränsningen för SOI-teknik för att komma in i storskalig industriell produktion. Under de senaste åren, med mognad av SOI-materialberedningsteknologi, har materialproblemet som begränsar utvecklingen av SOI-teknik gradvis lösts, vilket i slutändan inkluderar två typer av SOI-materialberedningsteknologi, nämligen Speration-by-oxygen implantation (SIMOX) och bindningsteknik. Bindningstekniken inkluderar den traditionella Bond and Etch back-teknologin (BESOI) och Smart-cut-tekniken som kombinerar vätejoninjektion och bindning som föreslagits av M. Bruel, en av grundarna av SOITEC i Frankrike, samt Simbond SOI-materialberedningskombinationen. syreisolering och bindning föreslog av Dr Meng Chen 2005. Den nya teknologin kombinerar syreinjektionsisolering och bindning.