Att känna Cantilever Paddle

Under bearbetningen måste halvledarskivor vanligtvis värmas i en specialiserad ugn. Sådana ugnar består typiskt av långa, tunna, cylindriska rör. Skivorna är placerade i ugnen och reaktorn på ett sådant sätt att de är anordnade längs ett plan som definieras av det cirkulära tvärsnittet av ugnen eller reaktorn och är åtskilda på förutbestämda, vanligtvis jämnt fördelade, punkter längs den centrala axeln av ugnen eller reaktorn. ugn eller reaktor. För att uppnå denna positionering placeras skivorna vanligtvis på slitsade hållare, kallade waferbåtar, vilka placerar skivorna i en åtskild konfiguration inriktad längs den centrala axeln.

Små båtar som innehåller partier av wafers som ska bearbetas placeras på långa fribärande paddlar genom vilka rörformiga ugnar och reaktorer kan sättas in och dras ut. Sådana paddlar inkluderar typiskt en platt bärarsektion på vilken en eller flera små båtar kan placeras, och ett långt handtag, beläget vid ena änden av den plana bärarsektionen, med vilket paddlarna kan hanteras. En övergångsdel är vanligtvis utformad mellan handtaget och bärdelen för att göra dem till en helhet. Handtaget måste också sträcka sig ut ur ugnen eller reaktorn så att det och waferbåten kan manipuleras.

Placeringen av waferskeppet inuti ugnen eller reaktorn är viktig eftersom det är önskvärt att placera centrum av varje wafer så nära som möjligt till ugnens eller reaktorns centrala axel för att uppnå enhetliga bearbetningsförhållanden som wafers utsätts för. Därför måste den böjning av skoveln som orsakas av vikten av fartyget som bär skivorna beaktas i skovelkonstruktionen, speciellt eftersom skoveln stöds i endast ena änden, dvs den ände som sticker ut från ugnskammaren. Förutom att ta hänsyn till paddeldesignen som är ett resultat av de operativa viktkraven, måste en uppsättning klämmor som är utformade för att exakt hålla den förlängda änden av paddeln på plats också användas. Dessa klämmor måste vara ganska robusta för att hålla paddeln i en exakt önskad position samtidigt som de är enkla att använda och minimerar risken för skador på paddeln under klämning.

Därför behövdes en fribärande paddel som kunde användas med en tyngre belastning samtidigt som den förblir kompatibel med befintliga klämsystem. Det fanns också ett behov av en fribärande paddel som uppvisade acceptabla avböjningsegenskaper över hela intervallet av viktbelastningar den kunde användas med.

Den cantilever paddel rekommenderas för att använda omkristalliserad kiselkarbid med ett CVD SiC tunt skikt, som är hög renhet och bästa valet för komponenterna i halvledarbearbetning.

Semicorex kan tillhandahållahög kvalitetfribärande paddlarochskräddarsydda tjänster enligt ritningar och arbetsmiljö.