Glödgningsprocesser i modern halvledartillverkning

När tekniknoder fortsätter att krympa, innebär bildandet av ultragrunda korsningar betydande utmaningar. Termiska glödgningsprocesser inklusiveSnabb termisk glödgning (RTA)och blixtlampsglödgning (FLA) är viktiga tekniker som upprätthåller höga föroreningsaktiveringshastigheter samtidigt som diffusionen minimeras, vilket säkerställer optimal enhetsprestanda.

1. Ultragrund korsningsformation:

När tekniknoder krymper blir det alltmer utmanande att bilda ultragrunda korsningar. Tekniker som snabb termisk glödgning (RTA) och blixtlampsglödgning (FLA) är avgörande för att uppnå höga föroreningsaktiveringshastigheter samtidigt som diffusionen minimeras, och därigenom säkerställa optimal enhetsprestanda.

2. Modifiering av High-k Gate Dielectrics:

Post-deposition annealing (PDA) förbättrar avsevärt de elektriska egenskaperna hos high-k gate dielektrikum. Denna process minskar grindens läckströmmar och ökar dielektriska konstanter, vilket är avgörande för avancerad logik och minnesenheter.

3. Bildning av metallsilicider:

Optimeringen av metallsilicider, såsom CoSi och NiSi, är avgörande för att förbättra kontakt- och bulkmotståndet. Exakt kontroll över glödgningsförhållandena underlättar skapandet av idealiska legeringsfaser, vilket ökar enhetens totala effektivitet.

4. 3D-integrationsteknik:

I tekniker som 3D NAND och 3D DRAM måste glödgningsprocesser tillämpas över flera lager. Snabba termiska tekniker spelar en nyckelroll för att säkerställa att varje lager uppnår optimal prestanda.

Glödgning är avgörande vid halvledartillverkning, vilket möjliggör reparation av gallerskador, föroreningsaktivering, filmmodifiering och metallsilicidbildning genom exakt kontroll av temperatur, tid och termiska budgetar. När teknologinoder krymper, avancerade glödgningsmetoder somRTA, FLA och laserspikglödgning har blivit mainstream. Framöver kommer glödgningsprocessen att fortsätta att vara innovativ för att möta kraven från nya material och enheter.

Semicorex erbjuder branschledandeglödgningslösningar, vilket säkerställer att dina halvledarenheter uppfyller de högsta prestandastandarderna med precision och tillförlitlighet.

Om du har några frågor eller behöver ytterligare information, tveka inte att kontakta oss.

Kontakta telefonnummer +86-13567891907

E-post: sales@semicorex.com