15" Quartz Bell Jar

Semicorex 15" Quartz Bell Jar är konstruerad för att möta dessa utmaningar och tillhandahåller en högpresterande lösning för batchbearbetning i medelstor till stor skala där termisk enhetlighet och materialrenhet är avgörande för att maximera utbytet. Inom halvledar- och tunnfilmsindustrin är integriteten hos processkammaren av största vikt. Eftersom waferstorlekar och stänker ökar, kräver inte skivans storlek och st. kemiskt inert miljö blir icke förhandlingsbar.

1. Materialvetenskap: Renheten hos smält kiseldioxid

Grunden i vår klockburk är hög renhetsmält kiseldioxid (kvarts). Till skillnad från standardglas består kvarts nästan helt av SiO2, vilket ger unika egenskaper som är avgörande för tillverkning av halvledar:

Ultralåg kontaminering: Vår kvarts bearbetas för att minimera metalliska spårelement (som Al, Fe, Na och K) till nivån delar per miljard (ppb). Detta förhindrar diffusion av föroreningar in i skivan under högtemperaturcykler, vilket säkerställer enheternas elektriska integritet.

Överlägsen termisk stötbeständighet: Kvarts har en termisk expansionskoefficient (CTE) nära noll. Detta gör att 15" Quartz Bell Jar kan motstå snabb temperaturhöjning och släckning utan risk för brott eller strukturell utmattning - ett kritiskt krav för reaktorer med hög genomströmning.

Utmärkt kemisk tröghet: Kvarts är mycket resistent mot de flesta syror (med undantag för fluorvätesyra) och frätande processgaser, vilket säkerställer att kammaren inte bryts ned eller avgas under aggressiva etsnings- eller avsättningscykler.

2. Precisionsteknik och optisk klarhet

15" Quartz Bell Jar ger maximal volym och optimal gasflödesdynamik för satsvis bearbetning av wafer. Burken har en vertikal skorsten (även känd som en hals) som är optimalt utformad för att ge ett inlopp för gas eller hjälpa till att extrahera gas genom ett vakuum från burken, vilket visas på bilden ovan.

Optisk transparens - Den höga nivån av överföring avkvartsmaterialatt sända ut våglängder i de ultravioletta, synliga och infraröda områdena av spektrumet möjliggör realtidsbearbetning samt användning av externa lampvärmare för snabb termisk bearbetning (RTP).

Förstärkta tätningsytor - Burkens hals har en specialutvecklad ogenomskinlig vit tätning (även kallad en jordfog) som ger ett hermetiskt (luftförseglat) och vakuumtätt gränssnitt mellan reaktorns bottenplatta och burken.

Glödgning för stressavlastning - Alla 15" Quartz Bell Jar genomgår en rigorös termisk glödgningsprocess för att lindra inre mekanisk påfrestning som har placerats på burken genom den mekaniska processen att blåsa eller forma burken, vilket avsevärt minskar risken för att en burk spontant misslyckas när den placeras under vakuumbelastning.

3. Kritiska tillämpningar i Semiconductor Fab

Vår 15" Quartz Bell Jar är speciellt designad för integration i följande högvärdiga processer:

Silicon Epitaxy: Tillhandahåller ett transparent, icke-reaktivt kärl för att odla högkvalitativa enkristallkiselskikt.

Plasma Enhanced CVD (PECVD): Tål den korrosiva plasmamiljön samtidigt som den bibehåller hög dielektrisk hållfasthet.

Diffusion och oxidation: Fungerar som en ren kammare med hög värme för bildandet av gateoxider och indrivning av dopmedel.

Produktion av optisk fiberförform: Idealisk för avsättning av kiseldioxidskikt med hög renhet vid tillverkning av specialglas.

På Semicorex hanterar vi varje klockburk som en del av precisionslaboratorieutrustning. Vår process inkluderar: Strikt materialförsörjning med verifierad elektronisk kvalitetkvartstackor; avancerad tillverkning som kombinerar traditionella glasblåsningsfärdigheter med CNC-kontrollerad slipning och polering; och grundlig inspektion med hjälp av polariserat ljus för att detektera kvarvarande stress och laserinterferometri för exakta dimensionskontroller.