Aluminiumoxid Bernoulli robotarmar

Robotarmar används huvudsakligen i front-end-processerna för halvledartillverkning som fotolitografi och etsning, där de direkt deltar i hanteringen, överföringen och positioneringen av halvledarskivor. SemicorexaluminiumoxidBernoulli robotarmar är keramiska sluteffektorer som uppnår wafer-adsorption och överföring baserat på Bernoulli-principen, och levererar exceptionell prestanda i renhet, stabilitet, precision, effektivitet och tillförlitlighet.

Icke-kontaktadsorption

Semicorex aluminiumoxid Bernoulli robotarmar kan uppnå fast och stabil beröringsfri adsorption av wafers genom att använda deras specialdesignade konfiguration och luftflödessystem. Denna beröringsfria arbetsmetod kan undvika direktkontakt med halvledarskivor och i hög grad förhindra kontaminering av skivor eller skador orsakade av fysisk kontakt, vilket är särskilt lämpligt de ultrarena arbetsförhållandena och känsliga skivornas överföring.

Pålitlig fysisk och kemisk prestanda

Aluminiumoxidkeramik har utmärkt hårdhet och styrka, vilket gör Semicorex aluminiumoxid Bernoullirobotarmarväl lämpad för långtidshantering av halvledarskivor utan deformation och skador.

Semicorex aluminium Bernoulli robotarmar levererar också pålitlig kemisk korrosionsbeständighet och kan motstå de utmanande korrosiva gaserna och plasmadriftsmiljöerna, och uppvisar konstant hållbarhet under en lång tidsperiod.

Strikt kontroll av renligheten

Semicorex aluminiumoxid Bernoulli robotarmar är tillverkade av aluminiumoxidpulver med hög renhet genom isostatisk precisionspressning och högtemperatursintring. Denna exakta materialval och bearbetningsmetod tillåter Semicorex aluminiumoxid Bernoulli robotarmar med en ren och tät keramisk struktur. Detta minskar avsevärt riskerna för waferkontamination orsakad av de oönskade föroreningarna från driftsförhållandena.

Överlägsen precisionskontroll

Färdiga med exakt slipning och polering, Semicorex aluminiumoxid Bernoulli robotarmar levererar exceptionell dimensionell noggrannhet och överlägsen ytplanhet, vilket gör dem mycket lämpliga för automatiserad halvledartillverkning med hög precision. Dessutom har Semicorex aluminium Bernoulli robotarmar utmärkt termisk stabilitet även när de utsätts för miljöer med kraftiga temperaturfluktuationer, de kan bibehålla utmärkt repetitiv positionering och hanteringsprecision.