Keramisk arm

Semicorex aluminiumoxid keramisk arm är en konstruerad komponent som är utvecklad enligt de högsta specifikationerna för halvledarapplikationer. Tillverkad av aluminiumoxid (Al₂o₃) är det en robotarm som har en unik kombination av mekanisk styrka, termisk stabilitet och kemisk resistens. Armen är inte bara utformad för att användas för skivhantering ensam utan måste också ge processstöd på avancerade tillverkningsplatser. Det måste också säkerställa att skivor överförs, placeras och bearbetas utan förorening eller skador; Förbättra avkastningen och tillförlitligheten i processen.

Aluminiumoxidär en av de tekniska keramikerna som finner den bredaste användningen inom det tekniska keramiska området. Alumina är känd för sin hårdhet, slitmotstånd och stabilitet i aggressiva miljöer. För den keramiska armen för att hantera skivhantering utan att införa förorening kan den utnyttja egenskaperna hos aluminiumoxid och leverera en mycket högre motståndsnivå mot nötning som en följd av dess höga renhet och partikelstorlek; Därför kommer den inte att generera överdrivna partiklar under dess upprepade rörelser, varken med skivor eller med halvledarunderlag av något annat slag.  Densiteten och den låga porositeten som den också är värd för begränsar potentialen för att partiklar bryter fritt och säkerställer att den uppfyller de ultra-rena kraven i halvledarutveckling FABS utan att förringa den renlighet som krävs för hantering av submicron-enheter.

AluminiumoxidHar exceptionell termisk stabilitet utöver dess mekaniska styrka. Den keramiska armen i aluminiumoxid kan uthärda extrema processtemperaturer utan vridning, sprickor eller förlora styrka. Den här egenskapen gör den idealisk för införlivande i alla processsteg som inkluderar exponering för förhöjda temperaturer, som diffusion, oxidation eller glödgningssteg. Skivor kommer att ha förbättrat tillförlitligheten för överföring i en utmanande processmiljö eftersom den behåller mekanisk integritet under termisk cykling.

Kemisk resistens är en annan grundläggande positiv av aluminiumoxidkeramiska armen. Vid halvledartillverkning utförs ofta behandlingar på skivor som inkluderar starka syror, alkalier och andra aggressiva kemikalier. Medan metalliska komponenter kan korrodera eller läcka föroreningar, är aluminiumoxid kemiskt inert, vilket skyddar integriteten hos både armen och skivorna som den hanterar. Därför förlänger inertheten livslängden för komponenten och minskar möjligheten till förorening under kritiska processsteg som våtrengöring eller kemisk ångavsättning.

Den keramiska armen i aluminiumoxid är utformad med fokus på kompatibilitet och precision. Varje arm är gjord för snäva dimensionella toleranser, vilket säkerställer exakt skivinriktning och rörelse och kompatibilitet med automatiserad skivhanteringsutrustning och robotsystem. Den släta, polerade ytfinishen har ett lågt friktionsgränssnitt med skivan som minskar chansen att skrapa skivan, vilket är viktigt för skivintegritet/miljörenlighet och minskning av defektfrekvensen. Dessa konstruerade toleranser säkerställer att armen fungerar fritt i en snabb miljö med hög genomströmning och möjliggör både mänskliga och helautomatiserade halvledararbetsflöden för armen.

Den keramiska armen i aluminiumoxid når utöver bara kemiska och mekaniska prestanda och påverkar driftseffektiviteten och kostnadsbesparingar på flera nivåer. Den beprövade hållbara naturen hos keramik gör att armen kan överträffa kompositmaterial som plast eller aluminium när det gäller konstruktionslängd under repetitiv mekanisk belastning och minskar därför mängden driftsstopp och/eller ersättningskostnader. Förmågan att motstå hårda miljöer inkluderar miljörenlighet, samtidigt som de producerar mindre tillverkningsavbrott som leder till förbättrad konsekvent skivproduktion, dvs avkastning, och i slutändan mindre skrot vilket leder till en högre ROI (avkastning på investeringar) för halvledartillverkare.

Alternativen för att användaKeramik i aluminiumoxidARM för halvledarprocesser är praktiskt taget oändliga - från att flytta skivor mellan våta bänkar, diffusionsugnar och deponeringskamrar till inspektion och metrologyverktyg som använder underlag. Mångsidigheten för denna produkt tillåter inte bara den att användas för skivhanteringsapplikationer, utan ytterligare automatiseringssituationer där noggrannhet, renlighet och tillförlitlighet krävs också är genomförbar. Halvledarindustrin rör sig orubbligt mot mindre noder och ökad komplexitet inom enhetstillverkning, och när branschen fortsätter att kräva bättre hanteringslösningar som är tillförlitliga och icke-kontaminerande, skapar den keramiska robotarmen en tydlig väg framåt.