Keramisk sluteffekt

Semicorex aluminiumoxid keramisk sluteffektor är ett viktigt verktyg i automatiserade skivöverföringssystem och erbjuder oöverträffad mekanisk styrka, termisk stabilitet och kemisk motstånd. Tillverkas med hög renhetkeramik i aluminiumoxid (Al₂o₃), Denna sluteffektor är konstruerad för att möta de stränga kraven från skivbehandlingsmiljöer, där precision, renhet och hållbarhet är av största vikt.

Semiconductor Robot Arms är en av de viktiga delarna av halvledarutrustning. De består vanligtvis av styrenheter, förare, armar och sluteffektorer. De kännetecknas av hög renlighet, hög stabilitet, hög precision, hög effektivitet och hög tillförlitlighet. Halvledarrobotar används främst i frontprocessen för halvledartillverkning för att transportera, transportera och positionera halvledarskivor.

Den keramiska strukturen med aluminiumoxidinnehåll vanligtvis större än 99,5% kommer att ge överlägsen hårdhet och slitstyrka för upprepade rörelser i miljöer med hög precision utan nedbrytning över tid. Den höga värmeledningsförmågan och den låga värmepansleringen av aluminiumoxid möjliggör dimensionell stabilitet i miljöer med förhöjd temperatur, en nödvändighet i de flesta rena rumsoperationer i halvledare, till exempel i en eter, depositter, inspektion eller rengöringsverktyg.

Dekeramik i aluminiumoxidSluteffektor har en anmärkningsvärd karakteristisk ytfinish som är slät och har låg porositet, vilket gör den nära nollpartiklar genererade och minimering eller nolleffekt på föroreningar under skivhantering. Dessutom är aluminiumoxid kemiskt inert. Detta innebär att det inte kommer att reagera med någon av processgaserna och eventuella processvätskor som skivan är i kontakt med. Detta skyddar skivan och eventuell förorening till sig själv och utrustning från allt som kan orsaka korrosion.

De används vanligtvis som sluteffektorer, eller en klämmekanism, för robotarmar eller överföringsmoduler i skivtillverkningsutrustning och utrustning som en ets- eller deponeringsverktyg, inspektions- eller rengöringsverktyg med exakta slots, spår eller vakuumkanaler som fångar den faktiska skivstorleken, oavsett om det är 100 mm, 200 mm eller 300 mm och överföring av waftor och fångar för att fånga upp den faktiska skivstorleken, oavsett om det är 100 mm, 200 mm eller 300 mm och överföring av wafer och fångar för att fånga upp den faktiska skivstorleken, oavsett om det är 100 mm, 200 mm eller 300 mm och överföring av wafer och fångar för att fånga upp den faktiska skivstorleken, oavsett om det är 100 mm, 200 mm eller 300 mm och överföring av wafer och fångar. Sluteffektorn kommer vanligtvis att hantera skivöverföringshastigheter på 25 cm/sekund.

Anpassningsalternativ finns i linje med utformade för specifika utrustningsgränssnitt eller skivstorlekar. Den strukturella styvheten hos aluminiumoxid möjliggör tunna och lätta profiler som minimerar hanteringssystemets totala massa och leder till snabbare responstider. Vissa konfigurationer kan också lägga till antistatiska eller isolerande komponenter för att ge ytterligare skydd för de känsliga elektroniska substraten.

Sammantaget ger aluminiumoxidens keramiska ändeffektor en effektiv lösning som främjar förbättrad utbyte och minskad förorening, där operationell tillförlitlighet är nyckelelement för skivbehandlingslinjen. Med sina hållbarhets- och fysiska prestandaegenskaper skiljer de effektiva och kostnadseffektiva aluminiumoxidens keramiska ändeffektor sig själv som ett populärt val bland tillverkare av halvledarutrustning och FAB: er som kräver stränga produktionsstandarder i en ultra-ren miljö.