Aluminiumoxid sluteffektor

Semicorex Alumina End Effector har dykt upp som ett oumbärligt verktyg i den krävande halvledartillverkningen, där till och med mikroskopiska brister kan äventyra enhetens prestanda, rollen av precisionswaferhantering kan inte överskattas. Alumina End Effector ger en unik kombination av precision, renhet och hållbarhet som är avgörande för att manipulera känsliga kiselwafers genom olika tillverkningsprocesser.**

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

Valet av material för Semicorex Alumina End Effector drivs av aluminiumoxidkeramik med hög renhet, unika lämplighet för de tuffa miljöer som man möter i halvledartillverkning:

Exceptionell renhet för kontamineringskontroll: Alumina End Effector, med aluminiumoxidkeramik av hög renhet som substrat, kännetecknas av sina extremt låga nivåer av föroreningar, vilket säkerställer att den inte kommer att införa föroreningar som kan äventyra de elektriska egenskaperna eller prestandan hos känsliga halvledarenheter.

Högtemperaturstabilitet för processmångsidighet:Alumina End Effector uppvisar utmärkt termisk stabilitet och bibehåller sin strukturella integritet och dimensionella noggrannhet även vid de förhöjda temperaturer som uppstår i processer som termisk oxidation, diffusion och kemisk ångavsättning.

Kemisk tröghet för tuffa miljöer:Den inneboende kemiska resistensen hos Alumina End Effector gör den ogenomtränglig för ett brett utbud av syror, baser och lösningsmedel som vanligtvis används i halvledarbearbetning. Denna tröghet förhindrar korrosion eller nedbrytning av sluteffektorn, säkerställer dess långsiktiga prestanda och minimerar risken för partikelkontamination.

Robusta mekaniska egenskaper för förlängd livslängd:Aluminiumoxidkeramer är kända för sin hårdhet, slitstyrka och förmåga att motstå upprepade cykler av hantering och rengöring utan försämring. Denna robusthet leder till förlängd livslängd för Alumina End Effector, vilket minskar utbyteskostnader och stilleståndstid.

Precisionen, renheten och hållbarheten hos Alumina End Effector har gjort den till en viktig komponent i en rad kritiska halvledartillverkningsprocesser:

Fotolitografi:Exakt waferinriktning och placering är av största vikt vid fotolitografi, där även små avvikelser kan leda till felinställningsfel och enhetsfel. Alumina End Effector ger den nödvändiga noggrannheten och stabiliteten för detta kritiska processsteg.

Kemisk mekanisk planarisering (CMP):Förmågan att motstå de kemiskt aggressiva uppslamningarna och de mekaniska krafterna som är involverade i CMP gör Alumina End Effector idealisk för hantering av wafers under denna kritiska process, som planariserar waferns yta för efterföljande skiktning.

Wafer inspektion och mätning:Den icke-kontaminerande och icke-skadliga naturen hos Alumina End Effector gör den idealisk för hantering av wafers under inspektions- och metrologiprocesser, för att säkerställa noggranna mätningar och minimera risken för införande av defekter.