Aluminiumoxidmonteringsbasplattor

Semicorex aluminiumoxid monteringsbasplattor är keramiska produkter med hög renhet designad som hållbara och stabila baser för monteringsarbeten i halvledartillverkningsutrustning. Dessa plattor ger kritiskt mekaniskt stöd och anpassning för skivbehandlingsoperationer som litografi, etsning, deponering och inspektion. Det är viktigt att exakt anpassa arbetet med andra systemkomponenter för att säkerställa att skivbehandling kan uppstå med den nödvändiga trovärdigheten. Plattorna tillverkas genom bearbetningstekniker som är specifika för keramik för att uppnå nödvändig planhet, hög temperaturhållbarhet och långvarig tillförlitlighet för att uppfylla de hårda kraven i modern halvledarskapning i både process- och renrumsmiljöer.

Semicorex aluminiumoxid monteringsbasplattor är tillverkade av hög renhetaluminiumoxidmed en renhetsnivå ≧ 99,5% (typisk). En aluminiumoxid med hög renhet har goda mekaniska och termiska egenskaper samt hårdhet. Högsyran aluminiumoxid har utmärkta inneboende elektriska isolerande egenskaper som också gör att dessa plattor kan användas i vakuum- och högspänningsapplikationer där elektriska störningar kan vara ett problem. Alumina kommer att vara resistent mot termisk cykling, vilket gör att plattorna kan upprätthålla bättre dimensionell noggrannhet än de flesta material och är fördelaktigt för att upprätthålla inriktning eller strukturell stabilitet på grund av minskad termisk expansion. Denna faktor är viktig för att säkerställa Chuck repeterbarhet och implicita processtoleranser, medan den arbetar över utökade produktionscykler.

I halvledarbearbetningssystem är en monteringsbasplatta inte bara en anordning för mekanisk fästning. Det är mediet för termisk kontakt mellan chucken och resten av utrustningen och är avgörande för termisk spridning, strukturell integritet och vibrationsisolering. Bearbetning av åtgärder såsom (men inte begränsat till) CVD, PVD eller jonimplantation, där höga temperaturer och vakuumtryck är vanliga, kräver att en monteringsbas är termiskt resistenta, kemiskt inert och resistenta, mekaniskt sunda och resistenta mot termisk chock. Kemisk inerthet är avgörande eftersom ett fäste måste vara förenligt med reaktiva gaser, såväl som rengöring av kemister, förlänga fästets livslängd och förhindra förorening.

Varje aluminiumoxidmonteringsbasplatta tillverkad av Semicorex bearbetas till toleranser som krävs av halvledarens OEM -tillverkare och utrustningsintegratorer. Plattorna är bearbetade för att täta toleranser för tjocklek, höjdvariation och planhet för att säkerställa maximal stabilitet och repeterbarhet. Dessa monteringsplattor kan göras med monteringshål, spår eller försänkningar till kundspecifikationer för att bättre rymma arbetschucks, mekaniska stadier eller annan utrustning. Alumina -keramiken bearbetas med moderna sintring och precisionslipningstekniker för att optimera en enhetlig mikrostruktur och ytkvalitet för att säkerställa konsekvent termisk kontakt och justering för användning över tid.

Semicorex aluminiumoxid monteringsbasplattor används i en mängd olika applikationer inklusive skivhanterare, robotöverföringssystem, vakuumchuckenheter och metrologisedningar. Denna tillförlitlighet och hållbarhet i en mängd krävande processsituationer gör dem till den produkt som valts med verktygstillverkare som letar efter robusta, långvariga, låga underhållskeramiska komponenter. Vår ingenjörsgrupp samarbetar med kunder för att tillhandahålla unika lösningar som anges för varje platta för att maximera effektiviteten för produktion i en halvledare.

Alumineringsmonteringsbasplattor är mer än bara ett mekaniskt stöd; Det är en nyckelkomponent inom precisionsteknik inom halvledarindustrin. Med utmärkt mekanisk stabilitet, renhet och konfigurerbarhet säkerställer de korrekt justering, lång livslängd och pålitlig drift i ett omfattande utbud av processverktyg. För högpresterande monteringsbasplattor, uppfyller de höga förväntningarna på dagens halvledartillverkare, Trust Semicorex.