Aluminiumoxidarm

Semicorex aluminiumoxid robotarm är en högpresterande keramisk del utformad för skivhantering och överföringsuppgifter i halvledarproduktion. Denna robotarm är tillverkad av hög renhets aluminiumoxid keramik (Al₂o₃) och erbjuder flexibilitet, precision, pålitlighet och hållbarhet i renrum.

Det som sticker ut till förmån för aluminiumoxidobotarmen är egenskaperna hoskeramik i aluminiumoxidMekanisk styrka och hårdhet. Somaluminiumoxidgörs mer ren, aluminiumoxid upprätthåller en bättre strukturell integritet och gör den mer resistent mot mekanisk slitage och deformation. Som ett material är aluminiumoxid ett utmärkt val för robotdelar som används i känsliga och repetitiva skivhanteringsuppgifter, dvs när en robotarm behöver utföra samma funktion och ta kontakt med skivor, kan den mindre snedvridning som tillämpas på skivan av robotarmen kosta en anläggningens avkastningsförluster. Den höga hårdheten, dvs styva ytor, kan hjälpa till med slipmotstånd och funktionell livslängd, dvs att förlänga livslängden och varaktigheten för service/ ersättning på en robotkomponent.

Utöver dess mekaniska hållbarhet är aluminiumoxidobotarmen också en utmärkt elektrisk isolator. Resistiviteten är upp till 10⁵ ω · cm och isoleringsstyrkan är upp till 15 kV/mm vid rumstemperatur, vilket ger en mycket säkrare miljö att använda, särskilt när störande elektriska signaler måste minskas i bearbetningsutrustningen. Detta blir viktigt när man skyddar känsliga halvledarkomponenter som överförs mellan processer med minimal risk för elektrostatisk urladdning (ESD).

Alumina -keramiken är utmärkt när det gäller att upprätthålla stabilitet över mycket höga temperaturer. Smältpunkten är cirka 2050 ° C och tål höga temperaturer i halvledarens termiska bearbetning utan vridning eller dimensionell noggrannhet. Den höga värmebeständigheten gör det möjligt att använda armen i processer såsom snabb termisk glödgning (RTA) eller kemisk ångavsättning (CVD), där precisionsinriktning och termisk stabilitet är kritiska.

En av de andra betydande fördelarna med aluminiumoxidobotarmen är dess inerthet. Dess yta är inert för de flesta rengöringsmedel och bearbetningsgaser som används vid halvledartillverkning. Därför kommer den att förbli föroreningsfri och inte bidra till föroreningar av skivytan. Denna kemiska inerthet är nyckeln till att uppnå extremt rena produktionsförhållanden och tillhandahålla konsekvent enhetsprestanda.

Keramik i aluminiumoxidär också ett prisvärt alternativ för halvledarverktyg. Det är lätt tillgängligt som råmaterial och bearbetningsprocesserna för aluminiumoxidkeramik är väl förstådda och lätt skalbara. Detta möjliggör reproducerbara och konsekventa toleranser för delar av hög kvalitet till ett konkurrenskraftigt pris. Blandningen av prestanda och prisvärdhet gör aluminiumoxidobotarmen idealisk för OEM: s och halvledar FABS där du behöver tillförlitliga automatiseringskomponenter som inte bryter banken.

Sammanfattningsvis ger aluminiumoxid -robotarmen hög mekanisk prestanda, hög dielektrisk prestanda, hög termisk motstånd, hög kemisk prestanda, alla med bevisad tillverkbarhet till ett ekonomiskt pris. Sammantaget gör dessa prestandaegenskaper det tillförlitligt och effektivt för precisionshanteringsapplikationer i halvledartillverkning, vilket möjliggör förbättrad utbyte, potentiellt sänker föroreningsrisk och förbättrar den totala utrustningens effektivitet.