Keramisk chuck av aluminiumnitrid

Aluminium Nitride Ceramic Chuck representerar en banbrytande lösning för bearbetning av halvledarskivor, speciellt utformad för att säkert hålla wafers på plats under olika tillverkningsstadier. Den här innovativa enheten fungerar som en elektrostatisk chuck (ESC) och utnyttjar de exceptionella egenskaperna hos aluminiumnitridkeramik för att säkerställa exakt och pålitlig kvarhållning av wafer.

Semicorex aluminiumnitrid keramisk chuck använder elektrostatiska krafter för att ett stadigt grepp om wafern på dess yta. Detta uppnås genom en noggrant konstruerad platta med inbyggda elektroder, som är strategiskt förspända med hög spänning. Som ett resultat etableras en elektrostatisk hållkraft mellan plattan och wafern, vilket effektivt immobiliserar wafern på plats under bearbetningsstegen.

En av de utmärkande egenskaperna hos aluminiumnitrid keramisk chuck är dess anmärkningsvärda kombination av hög värmeledningsförmåga och isoleringsegenskaper. Denna unika blandning av egenskaper gör den till ett idealiskt materialval för ESC-applikationer. Den höga värmeledningsförmågan säkerställer effektiv värmeavledning, avgörande för att upprätthålla en jämn temperaturfördelning över skivan under bearbetning. Samtidigt ger dess exceptionella isoleringsegenskaper elektrisk isolering mellan chucken och skivan, vilket minimerar risken för elektriska störningar eller skador på känsliga halvledarkomponenter.

Den keramiska chucken av aluminiumnitrid erbjuder flera fördelar jämfört med traditionella chuckmaterial. Dess robusta konstruktion säkerställer långvarig hållbarhet, kapabel att motstå de rigorösa kraven från halvledartillverkningsmiljöer. Dessutom gör dess kompatibilitet med högtemperaturprocesser och motståndskraft mot termisk expansion den till ett oumbärligt verktyg för att uppnå konsekventa och högkvalitativa waferbearbetningsresultat.