Ringformade chuckar av aluminiumoxid

Semicorex ringformade aluminiumchuckar antar en ytstruktur som består av en serie av flera koncentriska ringformade spår. När de är anslutna till vakuumpumpen bildar dessa spår ringformade undertryckszoner för att stabilt hålla tunna wafers och arbetsstycken med exakt positionering. Semicorex ringformade chuckar av aluminiumoxid fungerar bra under arbetsförhållanden som kräver stringent planhetshantering och jämnt fördelad adsorptionskraft, som används i stor utsträckning vid waferhållning, exponeringspositionering, plasmaetsning, såväl som waferinspektion och överföringsprocesser.

Fördelar med Semicorex ringformade aluminiumchuckar

1. Exceptionellt motstånd mot höga temperaturer

Aluminiumoxidkeramik tillverkad genom förtätningssintring uppvisar enastående termisk prestanda. På grund av denna materialegenskap presterar Semicorex ringformade aluminiumchuckar stabilt under extrema högtemperaturer utan strukturell deformation och prestandaförsämring vid långvarig användning.

2. Jämn adsorptionskraft

Semicorex ringformad räffladaluminiumoxidchuckarhar flera ringformade spår på sin adsorptionsyta, i vilka stabila ringformade vakuumzoner bildas. Denna konfiguration möjliggör en konsekvent adsorptionskraft över de huvudsakliga kontaktområdena för skivan, vilket således avsevärt minskar partiell deformation och skevhet av skivan.

3. Överlägsen strukturell stabilitet och hög repeterad positioneringsnoggrannhet

Med överlägsen materialstyvhet och strukturell stabilitet kan Semicorex ringformade aluminiumchuckar bibehålla utmärkt planhet och konsekvent positioneringsnoggrannhet under upprepad vakuumklämning under lång tid.

4. Stark kemisk korrosionsbeständighet

På grund avaluminiumoxids pålitliga kemiska stabilitet, Semicorex ringformade aluminiumchuckar har enastående motståndskraft mot de flesta sura och alkaliska ämnen, såväl som olika korrosiva processgaser och är mycket anpassade till utmanande korrosiva driftsförhållanden.

5. Utmärkt renlighet

Tack vare strikt materialrenhetskontroll och förtätningsbehandling, släpper Semicorex ringformade aluminiumchuckar sällan partiklar eller släpper ut orenheter under drift, vilket helt uppfyller de rigorösa lågkontaminationsstandarderna i halvledarrenrum.

Varför välja Semicorex?

Som det branschledande företaget i Kina stöds Semicorex av integrerade produktionslinjer och ett väl erfaret tekniskt team. Vi kan erbjuda skräddarsydd teknisk support och optimerade processlösningar till våra kunder och förse dem med icke-standardiserad anpassningstillverkning av våra ringformade aluminiumchuckar i materialrenhet, chuckarnas form, dimensioner, planhet, toleranser och andra krav.