Degelstödbricka

Vid högtemperaturhalvledartillverkning är stabilitet och precision avgörande för att säkerställa konsekvent kristallkvalitet. Semicorex Crucible Support Tray spelar en viktig men ofta förbisedd roll för att upprätthålla integriteten i kristalltillväxtprocessen genom att tillhandahålla en pålitlig grund under extrema termiska och mekaniska förhållanden.

The Crucible Support Tray, även känd som enkol/kol (C/C)degelhållare, är speciellt konstruerad för att stödja kvarts- eller grafitdeglar under tillväxten av enkristallkisel. Placerad vid basen av det termiska fältet måste denna komponent tåla långvarig exponering för höga temperaturer samtidigt som strukturell integritet och dimensionsstabilitet bibehålls. Dess robusta design säkerställer att degeln förblir säkert placerad under hela processen, vilket minimerar vibrationer, deformation eller felinriktning som kan påverka kristallkvaliteten negativt.

Roll för C/C-stödbrickan

Under tillväxten av monokristallint kisel överstiger temperaturen ofta 1400°C. Traditionella grafitmaterial, även om de är användbara, möter ofta utmaningar när det gäller livslängd och deformation under den tunga vikten av smält kisel. Vår C/C Composite Crucible Support Tray löser dessa smärtpunkter.

Genom att använda en höghållfast kolfiberförstärkt matris, erbjuder denna bricka en "nära noll" termisk expansionsprofil och exceptionell lastbärande kapacitet. Den fungerar som gränssnittet mellan degeln och den roterande axeln och upprätthåller ett perfekt plant plan för att förhindra smältturbulens och kristalldefekter.

Tekniska specifikationer & Material Excellence

Densitet: ≥ 1,3 g/cm³

Böjhållfasthet: ≥ 110 MPa

Koefficient för termisk expansion (CTE): ≤ 1,0 × 10⁻⁶ /K

Tryckstyrka:  ≥ 160 MPa