CVD och CVI vakuumugn

Semicorex är en storskalig tillverkare och leverantör av kiselkarbidbelagda produkter i Kina. Vi tillhandahåller skräddarsydda ugnslösningar. Vår CVD- och CVI-vakuumugn har en bra prisfördel och täcker många av de europeiska och amerikanska marknaderna. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner.

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

Semicorex CVD och CVI Vacuum Furnace är ett högkvalitativt verktyg designat för processer för kemisk ångavsättning (CVD). Reaktionstemperaturerna upp till 2200°C. Den kan avsätta ett brett utbud av material, inklusive kiselkarbid, bornitrid, grafen och mer. CVD-ugnen har en robust design och är gjord av högkvalitativa material, vilket säkerställer tillförlitlighet och hållbarhet för långvarig användning. Den har både horisontella och vertikala strukturer.

Ansökan:C/C komposit bromsskiva, degel, form och etc.

Funktioner hos Semicorex CVD och CVI vakuumugn

1. Robust design gjord av högkvalitativa material för långvarig användning;

2. Exakt kontrollerad gasleverans genom användning av massflödesregulatorer och högkvalitativa ventiler;

3. Utrustad med säkerhetsfunktioner såsom övertemperaturskydd och gasläckagedetektering för säker och pålitlig drift;

4.Användning av flera temperaturkontrollzoner, stor temperaturjämnhet;

5.Specialdesignad deponeringskammare med bra tätningseffekt och bra anti-kontaminationsprestanda;

6.Användning av flera deponeringskanaler med enhetligt gasflöde, utan deponeringsdöda hörn och perfekt deponeringsyta;

7. Den har behandling för tjära, fast damm och organiska gaser under avsättningsprocessen

Valfria funktioner:

• Ugnsdörr: skruv/hydraulisk/manuell höjdtyp; svängöppning/parallellöppning (stor storlek

ugnsdörr); manuell tät/ auto låsring tät

• Ugnskärl: helt kolstål/innerskikt rostfritt stål/helt rostfritt stål

•Ugnens heta zon: mjuk kolfilt/mjuk grafitfilt/styv kompositfilt/CFC

•Värmeelement och muffel: isostatisk pressgrafit/grafit med hög renhet, styrka och densitet/finstorleksgrafit

• Processgassystem: volym/massflödesmätare

• Termoelement: K typ/N typ/C typ/S typ

Specifikationer för CVD Ugn
Modell	Arbetszonstorlek (B × H × L) mm	Max. Temperatur (°C)	Temperatur Enhetlighet (°C)	Ultimat vakuum (Pa)	Tryckökningshastighet (Pa/h)
LFH-6900-C	600×600×900	1500	±7,5	1-100	0.67
LFH-10015-C	1000×1000×1500	1500	±7,5	1-100	0.67
LFH-1220-C	1200×1200×2000	1500	±10	1-100	0.67
LFH-1530-C	1500×1500×3000	1500	±10	1-100	0.67
LFH-2535-C	2500×2000×3500	1500	±10	1-100	0.67
LFV-D3050-C	φ300×500	1500	±5	1-100	0.67
LFV-D6080-C	φ600×800	1500	±7,5	1-100	0.67
LFV-D8120-C	φ800×1200	1500	±7,5	1-100	0.67
LFV-D11-C	φ1100×2000	1500	±10	1-100	0.67
LFV-D26-C	φ2600×3200	1500	±10	1-100	0.67

*Ovanstående parametrar kan justeras till processkraven, de är inte som acceptansstandard, detaljspecifikationen. kommer att framgå av tekniska förslag och avtal.