Smält kvartskor

Semicorex Fused Quartz Crucibles är värdefulla förbrukningsvaror som används vid halvledartillverkning, med betydande renhet, termisk stabilitet och mekanisk styrka i extrema temperaturmiljöer. Dessa klädsel tillverkas av kiseldioxidsand med hög renhet som smälts samman med en mycket kontrollerad smältningsteknik för att uppnå den högsta tillgängliga densiteten, med ett mestadels homogent material med begränsade inneslutningar eller bubblor i dess struktur som är mycket reproducerbar för kristall-back-back- och skivproduktioner. Dessa klädsel har ultra-låga nivåer av kontaminering som gör dem idealiska för processer där materiell renhet direkt påverkar enhetens utbyte och prestanda.

Fused Quartz Crucibles används i halvledarproduktion för Czochralski (CZ) -metoden för enkelkristallsilikontillväxt. Smält kvartskor har hög termisk motstånd som gör att de tål temperaturer för att smälta polysilikon som ofta är högre än 1400 ° C.  Dessutom är smältkvartskorskor kemiskt inerta och kommer inte att reagera med Polysilicon på ett sätt som skulle påverka kiselens renhet.  Fused Quartz Crucibles kan genomgå mycket betydande termisk cykling utan förlust av strukturell integritet och detta kan ge ett stabilt tillstånd för tillväxten av fröet till en kristallstruktur och därmed uppnå nödvändig enhetlighet i halvledarskivor.

Desmält kvartsOptiska egenskaper och mekaniska egenskaper ger unika fördelar i en halvledarinställning. Den låga värmekoefficienten kommer att mildra termisk chock och dimensionell inkonsekvens medan den låga värmeledningsförmågan hjälper till att bevara temperaturgradienter i kristalltillväxtugnen relativt kristallen. Den inre ytan på degeln som är slät över termiska kommer att minimera partikelproduktionen och kommer att främja enhetligt smältbeteende som ytterligare kommer att skydda renheten hos den odlade kristallen.

Tillverkningsprocesserna som används för att säkerställa att varje smält kvarts harkibelkonform är bestående med stränga dimensionella toleranser och ytkvaliteter. Valet av råvaror screenas för att eliminera metalliska föroreningar, smältning sker i en specialiserad miljö som negerar atmosfärisk gas och/eller partikelformigt förorening. Baserat på halvledarapplikationen kan CLOCBALS göras i flera diametrar och väggtjocklekar, från små forskningsförhållanden, till stora diameter Crucibles som kan producera 300 mm skivor.

Medan de unika egenskaperna hos en smält kvarts ingele redan förbättrar hållbarhet och prestanda, kan ytterligare specialiserade ytbehandlingar eller beläggningar användas vid behov. Till exempel kommer vissa processer att involvera inre kiselskiktsavlagringar för att förbättra Crucibles livslängd eller för att ytterligare minimera mängden syre som kommer till det smälta kiselet. Dessa förbättringar hjälper effektiviteten i halvledarproduktionen om processen använder en kvarts degel, eftersom den minskar ersättningsfrekvensen och resulterar i större utbyten av kristaller.

Fused Quartz Crucibles har också en roll i forskning och utveckling av nya processer inom halvledarindustrin. Dess anpassningsförmåga ger ingenjörer förmågan att utforska alternativa kristallodlingstekniker, materialdopningstekniker eller nya halvledarmaterial utanför kisel, som galliumarsenid eller kiselkarbid. Den smälta kvarts Crucibles förmåga att motstå extrema kemiska och termiska förhållanden ger ingenjörer den ultimata försäkringen i både massproduktion och experimentell tillverkning.

Semicorex smältkvartsCLOCBLES har blivit kritiska verktyg i dagens halvledartillverkning, med hög renhet, överlägsna termiska egenskaper och otrolig strukturell stabilitet när det gäller de striktaste industristandarderna. Således påverkar deras förmåga att generera defektfria och högpresterande halvledarskivor direkt tillförlitligheten och prestandan för elektroniska enheter över hela världen.