Smält kvartsugnsrör

Sammansmältkvarts ugnsrörutgör typiskt högtemperaturbearbetningsområdet för wafers tillsammans med de väsentliga komponenterna såsom kvartsbåtar, reaktorer, värmare och kvartsbafflar. Under tillverkningen placeras wafers i kvartsbåtar och transporteras in i ugnsrören för processer, såsom diffusion, oxidation och glödgning. Som den avgörande delen i dessa processer påverkar ugnsrör av smält kvarts direkt kvaliteten och utbytet av halvledar- eller solcellsprodukter.

Genom att förlita sig på deras tillförlitliga prestanda och kvalitet, kan Semicorex smälta kvartsugnsrör motstå driftsmiljön för dessa processer under långa perioder. Att använda Semicorex smälta kvartsugnsrör kan avsevärt minska risken för skador på färdig produkt orsakad av allvarlig deformation eller kollaps av kvartsugnsrör efter långvarig cyklisk användning.

Fördelarna med Semicorex smälta kvarts ugnsrör

1. Utmärkt motstånd mot höga temperaturer

Kvartsglashar en mjukningspunkt på cirka 1730°C. Semicorex smälta kvartsugnsrör stödjer långtidsdrift vid 1100°C-1200°C med kortvarig tolerans för ännu högre temperaturer.

2. Anmärkningsvärd termisk stabilitet

Kvartsmaterial av halvledarkvalitet ger en extremt låg termisk expansionskoefficient, vilket gör att de snabbt kan kylas från höga temperaturer till rumstemperatur utan sprickor eller skador.

3. Stark kemisk korrosionsbeständighet

Semicorex smälta kvarts ugnsrör har stark kemisk korrosionsbeständighet. Förutom fluorvätesyra och het fosforsyra, reagerar de knappast med andra kemikalier som syror, alkalier, salter.

4. Enastående ljusgenomsläpplighet

Uppvisar utmärkt transmittans över det ultravioletta till infraröda spektrumet, kvarts med hög renhet uppnår över 93 % ljustransmittans i det synliga området. Denna enastående optiska prestanda gör Semicorex smälta kvartsugnsrör till det lämpliga alternativet för processer som kräver optisk övervakning eller ultraviolett behandling.

Tillämpningarna av Semicorex smält kvarts ugnsrör

1. Används i diffusions-, oxidations- och glödgningsprocesser vid halvledartillverkning

2. Används i högtemperaturreaktionskärlet vid tillverkning av solcellsindustrin

3. Används vid tillverkning av spektrometerfönster, laserhylsor, ultravioletta optiska system och andra optiska tillämpningar.