Fused Quartz Piedestal

I halvledartillverkning fungerar Fused Quartz Piedestal som en stödstruktur för kvartsbåten, som håller wafers. Genom att upprätthålla en konstant temperatur bidrar det till att uppnå enhetlig tunnfilmsavsättning, en kritisk faktor för prestanda och tillförlitlighet hos halvledarenheter. Sockeln säkerställer att termisk och ljusfördelning inom processkammaren är jämn, vilket förbättrar den övergripande kvaliteten på deponeringsprocessen.

Fördelar med Fused Quartz Material

1.Hög temperaturbeständighet

Fused Quartz Piedestal har en mjukningspunkt på cirka 1730°C, vilket gör att den tål långvarig användning vid temperaturer från 1100°C till 1250°C. Dessutom tål den kortvarig exponering för temperaturer så höga som 1450°C.

2. Korrosionsbeständighet

Fused Quartz Piedestal är kemiskt inert mot de flesta syror, med undantag för fluorvätesyra. Dess syrabeständighet överträffar den för keramik med 30 gånger och rostfritt stål med 150 gånger. Vid förhöjda temperaturer kan inget annat material matcha den kemiska stabiliteten hos smält kvarts, vilket gör det till ett idealiskt val för tuffa kemiska miljöer.

3. Termisk stabilitet

En av de utmärkande egenskaperna hos Fused Quartz Piedestal är dess minimala värmeutvidgningskoefficient. Denna egenskap gör att den tål svåra temperaturväxlingar utan att spricka. Till exempel kan den snabbt värmas upp till 1100°C och sedan sänkas ned i vatten vid rumstemperatur utan att ta skada - en väsentlig egenskap för tillverkningsprocesser med hög belastning.

Tillverkningsprocess

Tillverkningsprocessen för Fused Quartz Piedestal är noggrant kontrollerad för att säkerställa högsta kvalitetsstandarder. Piedestalerna tillverkas genom termoformning och svetsprocesser som utförs i renrumsmiljöer av klass 10 000 eller högre. Efterföljande rengöring med ultrarent vatten (18 MΩ)säkerställer ytterligare produktens renhet och prestanda. Varje fused Quartz Piedestal genomgår rigorös inspektion, rengöring och förpackning i ett renrum av klass 1 000 eller högre för att uppfylla de stränga kraven för halvledartillverkning.

Hög renhet ogenomskinligt kvartsmaterial

För att effektivt blockera värme och ljus använder Fused Quartz Piedestal högrent ogenomskinligt kvartsmaterial. Detta materials unika egenskaper förbättrar piedestalens förmåga att upprätthålla en stabil och enhetlig temperatur i processkammaren, och säkerställer därigenom den jämna kvaliteten på tunnfilmsavsättning på wafers.

Brett utbud av applikationer

De exceptionella egenskaperna hos Fused Quartz Piedestal gör den lämplig för en mängd olika applikationer inom halvledarindustrin. I ALD-processer stöder den den exakta kontrollen av tunnfilmstillväxt på atomnivå, vilket är avgörande för produktionen av avancerade halvledarenheter. Under LPCVD-processer bidrar piedestalens termiska stabilitet och ljusblockerande förmåga till enhetlig filmavsättning, vilket förbättrar enhetens prestanda och utbyte.

I diffusionsprocesser säkerställer Fused Quartz Piedestals högtemperaturbeständighet och kemiska tröghet tillförlitlig och konsekvent dopning av halvledarmaterial. Dessa processer är avgörande för att definiera de elektriska egenskaperna hos halvledarenheter, och användningen av högkvalitativa material som smält kvarts är avgörande för att uppnå optimala resultat.