Fused Quartz Ring

Tillämpningarna av Semicorex Fused Quartz Ring i halvledaretsning

Halvledaretsningsprocessen är ett avgörande steg i tillverkningen av halvledarenheter. Under etsning avlägsnas specifika områden av wafern selektivt för att skapa invecklade mönster. Denna process kräver material som tål extrema förhållanden och ger konsekvent prestanda. Fused Quartz Ring är konstruerad för att uppfylla dessa stränga krav, vilket säkerställer att etsningsprocessen är exakt, effektiv och pålitlig.

Fördelar med Semicorex Fused Quartz Ring

1. Exceptionell renhet

Renheten hos SiO2 i Fused Quartz Ring är en av dess viktigaste fördelar. Med renhetsnivåer som sträcker sig från 99,995 % till 99,999 %, säkerställer Fused Quartz Ring minimal kontaminering och högkvalitativa etsningsresultat. Denna höga renhet är avgörande vid halvledartillverkning, där även de minsta föroreningarna kan påverka slutproduktens prestanda och tillförlitlighet.

2. Överlägsen termisk stabilitet

Fused Quartz Ring är designad för att tåla extrema temperaturer, med en driftstemperatur på upp till 1250°C och en mjukningstemperatur på 1730°C. Denna höga termiska stabilitet gör att Fused Quartz Ring kan bibehålla sin strukturella integritet och prestanda under de intensiva värmeförhållanden som vanligtvis förekommer i etsningsprocessen.

3. Låg expansionskoefficient

Den extremt låga expansionskoefficienten hos Fused Quartz Ring gör den mycket motståndskraftig mot värmechock. Denna egenskap är avgörande i etsningsprocessen, där snabba temperaturförändringar kan inträffa. Den låga expansionskoefficienten säkerställer att Fused Quartz Ring förblir stabil och pålitlig, vilket minskar risken för sprickbildning och andra termiska stressrelaterade problem.

4. Kemisk beständighet

Fused Quartz Ring uppvisar utmärkt motståndskraft mot syror och alkalier. Denna kemiska beständighet säkerställer att Fused Quartz Ring kan motstå de tuffa förhållandena under etsningsprocessen och bibehåller deras prestanda och hållbarhet under längre perioder.

5. Mikrobubblafri och låg hydroxylhalt

Frånvaron av mikrobubblor och låg hydroxylhalt i Fused Quartz Ring säkerställer att de ger konsekvent och pålitlig prestanda. Mikrobubblor och hög hydroxylhalt kan leda till defekter och kontaminering i etsningsprocessen, vilket påverkar kvaliteten och tillförlitligheten hos slutprodukten.

6. Låg värmeledningsförmåga och dielektrisk konstant

Fused Quartz Ring har mycket låg värmeledningsförmåga och dielektricitetskonstant, såväl som den lägsta förlusttangenten av nästan alla kända material. Den låga värmeledningsförmågan hjälper till att avleda värme effektivt, vilket minskar risken för värmeskador på skivan. Den låga dielektricitetskonstanten och förlusttangenten säkerställer att våra kvartsringar ger utmärkt elektrisk isolering, vilket minskar risken för elektriska störningar och förbättrar etsningsprocessens totala effektivitet.