Glasartat kolbeläggning

Semicorex glasartat kolbeläggning kände fungerar som ett inre isoleringsskikt i kiselkarbid -epitaxialreaktorer. Det är ett högpresterande isoleringsmaterial utformat för avancerade termiska miljöer. Den här produkten övervinner typiska halvledarens högtemperaturtillverkningsutmaningar genom att erbjuda överlägsna lösningar på grund av dess lätta och utmärkta termiska isoleringsegenskaper hosgrafitfilti kombination med ytintegriteten och kemisk inerthet som ges av en glasaktig kolbeläggning.

Basmaterialet är en hög renhetgrafitfiltValde för sin låga värmeledningsförmåga hög temperaturstabilitet och lätt vikt. Normal grafit känd har vanligtvis ytfiberutgjutning och partikelproduktion vid förhöjda temperaturer som kan förorena processmiljön i känsliga epitaxiella system. För att mildra detta problem är ytan på grafitfilt enhetligt belagd med ett skikt av glasartat kol-en tät, icke-porös form av kol känd för sin kemiska inerthet, låg gaspermeabilitet och exceptionell termisk stabilitet.

Glassy kol är ett icke-grafiterat kol som kombinerar egenskaperna hos glas och keramik. I motsats till kristallin grafit är det en amorf, nästan 100% SP2-hybridiserat kolmaterial, som bildas av högtemperatur sintring av polymeriserade organiska prekursorer, såsom fenolharts, furfurylalkoholharts, etc. i en inert gasatmosfär. Eftersom den är svart i hela och har en slät yta som liknar glas, kallas den glasartat kol.

Glasartad kolbeläggning kan eliminera genereringen av ugnspartiklar, tillhandahålla förseglade ytporer, ha utmärkta nedslagsegenskaper och minska permeabiliteten, vilket gör detta material mycket lämpligt för kontinuerliga gjutformar och produkter i halvledarindustrin. Detta material har ett brett utbud av applikationer i halvledarindustrin, särskilt i grafitdelar som enkristallsilikonutrustningskomponenter, epitaxiella tillväxtkomponenter, kontinuerliga gjutformar, tätning av glas, etc.

Glassigt kol har hög temperaturmotstånd upp till 3000 ° C i inert gas eller vakuum, och till skillnad från alla andra keramiska och metalliska höga temperaturmaterial ökar styrkan hos glasartade kol med ökande temperatur upp till 2700K, och det blir inte sprött och har extremt hög termisk chockmotstånd, så att kortvärmning och kylningstider inte är problem. Dessutom har glasartat kol låg massa, låg värmeabsorption och låg värmeutvidgning, så det är lämpligt för nästan alla höga temperaturapplikationer.

Den glasartade kolbeläggningen spelar en avgörande roll för att försegla ytoren på grafitfilt, vilket minskar frisättningen av partiklar och koldamm under damm under damm. Detta är särskilt kritiskt i SIC -epitaxiella tillväxtprocesser, där till och med minimal förorening kan kompromissa med skivkvalitet och enhetsprestanda. Genom att kapsla in den porösa strukturen hos filten med ett slätt, hårt glasartat kolskal, säkerställer beläggningen en ren och stabil termisk miljö i reaktionskammaren.

Viktiga fördelar med glasartat kolbeläggning inkluderar:

Reducerad partikelutgjutning: Den täta beläggningen låses effektivt i lösa fibrer och partiklar, vilket förhindrar förorening av skivor och reaktorkomponenter.

Hög termisk stabilitet: Både grafiten filt och glasartat kol kan tåla temperaturer som överstiger 2000 ° C i inerta eller vakuumatmosfärer, vilket gör produkten idealisk för högtemperatur SIC-processer.

Kemisk inerthet: Den glasartade kolytan är resistent mot de flesta syror och frätande gaser, vilket förlänger den operativa livslängden för isoleringsskiktet under hårda förhållanden.

Förbättrad processkonsistens: Den minimerade partikelgenerationen bidrar till en mer stabil och repeterbar epitaxiell tillväxtmiljö, vilket är viktigt för att producera SIC-skivor av hög kvalitet.

Tillämpningar av glasartat kolbeläggning kände sig främst till SiC -epitaxiella tillväxtugnar, där det används som ett termiskt isoleringsskikt i den heta zonen. Produkten installeras vanligtvis som ett fodermaterial i de övre eller nedre isoleringsstackarna, där den ger både termisk skydd och renlighetsförsäkring.