Grafiter

Semicorex grafitskor är kritiska komponenter i halvledartillverkningsprocessen, särskilt under kristalltillväxtstadiet. Dessa högpresterande behållare är konstruerade för att motstå de extrema förhållanden som krävs för att producera kisel- eller sammansatt halvledarkristaller med hög renhet genom metoder såsom Czochralski (CZ) -processen eller floatzonen (FZ).

En viktig funktion av grafitskor är att motstå och stödja extremt höga temperaturer, vanligtvis över 2000 ° C, där tredje generationens halvledarmaterial såsom kiselkarbid och galliumnitrid ofta syntetiseras. Korska tillverkade av grafit med hög renhet uppvisar utmärkt resistens mot höga temperaturer som upprätthåller sina fysiska och kemiska tillstånd på sådana extrema nivåer utan någon form av sönderdelning eller till och med metamorfos. God termisk ledning med grafitkorsning innebär att de inte bara kommer att leda värme enhetligt utan också att sätta upp ett stabilt temperaturfält. Detta spelar avgörande under smältnings- och kristallisationsprocesserna eftersom enhetlig temperaturfördelning tillåter tillväxtmaterial under mer eller mindre motsvarande förhållanden, vilket minskar kristalldefekter och tillåter halvledarkristaller av hög kvalitet.

I kiselkarbid- eller galliumnitridkristalltillväxtprocesser (såsom ångfas -epitaxi CVD eller fysisk ångtransport Pvt) används grafitskor för att hålla råvaror och ge en kontrollerad tillväxtmiljö. Degelns kemiska inerthet säkerställer att den inte kemiskt reagerar med halvledarmaterialet vid höga temperaturer och därmed bibehåller materialets höga renhet. Samtidigt hjälper den goda värmeledningsförmågan hos grafitkärnan att bilda en enhetlig temperaturgradient, vilket ger idealiska förhållanden för kristalltillväxt och minskar föroreningar och strukturella defekter.

Den kemiska inertheten hos grafitskor är en viktig funktion i rening av halvledarmaterial. Dess grafitmaterial med hög renhet kan isolera extern förorening och förhindra att föroreningar kommer in i det smälta halvledarmaterialet. Ytan på grafitkärnan kan också beläggas (såsom kiselkarbidbeläggning) för att förbättra dess oxidationsmotstånd och korrosionsbeständighet, vilket ytterligare säkerställer hög renhet och hög stabilitet i produktionsprocessen.