Grafitelektrod

Semicorex Graphite Electrode är en precisionstillverkad grafitkomponent för användning i termiska halvledarapplikationer, där elektrisk ledningsförmåga, termisk stabilitet och dimensionsnoggrannhet är av största vikt. Faktum är att dessa typer av elektroder används i högtemperaturugnar, epitaxireaktorer och termiska bearbetningskammare, vilket underlättar stabil strömledning, värmeöverföring och stabilitet under aggressiva temperatur- och atmosfärsförhållanden. På grund av den extrema renheten, enhetligheten hos den solida strukturen och höga mekaniska egenskaper hos Semicorex grafitelektroder kan de ge tillförlitlig termisk prestanda som värmeelement i krävande halvledarapplikationer

Grafiteletroden är tillverkad av högkvalitativt finkornigt grafitmaterial, var och en är gjord med en avancerad sekvens av extrudering, högtemperaturförkolning och grafitisering. Grafitmikrostrukturen är designad för ungefär konstant elektrisk resistivitet, hög värmeledningsförmåga och mekanisk stabilitet. Slutprodukten är en termisk ledare med hög renhet som upprätthåller ett fysiskt tillstånd och en jämn fördelning av ström i högeffektsmiljöer samt snabba temperaturfluktuationer.

Ultra Performance i vårgrafit

I det termiska halvledarfältet är grafitelektroden en kritisk del av värmeaggregatet, som riktar elektrisk ström in i värmezonen och möjliggör kontrollerad fördelning av temperaturen över en specifik process, såsom oxidation, diffusion, LPCVD eller epitaxi. Grafitelektroden måste ha en tillförlitlig funktion vid temperaturer som överstiger 2000°C och göra det samtidigt som den motstår oxidation, vridning eller kontaminering av uppvärmningsplatsen.

För det andra, under grafitiseringsprocessen, med en sats på 500 kg som exempel, övervakar vi också 8 temperaturpunkter. Efter grafitisering provar vi slumpmässigt och testar destruktivt 24 punkter längs X-, Y- och Z-axlarna för att säkerställa enhetlighet. De flesta företag i branschen testar bara X-axeln, eller som mest XY-axeln, med typiska tillverkare som bara testar 6-8 poäng och bättre testar 12 poäng. Vi testar 24 poäng.

I det termiska halvledarfältet är grafitelektroden en kritisk del av värmeaggregatet, som riktar elektrisk ström in i värmezonen och möjliggör kontrollerad fördelning av temperaturen över en specifik process, såsom oxidation, diffusion, LPCVD eller epitaxi. Grafitelektroden måste ha en tillförlitlig funktion vid temperaturer som överstiger 2000°C och göra det samtidigt som den motstår oxidation, vridning eller kontaminering av uppvärmningsplatsen.

Semicorex grafitelektroder har enastående elektrisk ledningsförmåga, vilket underlättar effektiv kraftleverans med minimala förluster, och de har utmärkt värmeledningsförmåga, vilket möjliggör snabb jämn värmeöverföring i ugnen. Kombinationen av låg termisk expansion och hög mekanisk hållfasthet minskar deformation och sprickbildning under termisk cykling, vilket ger stabilt beteende under lång livslängd. Varje elektrod är bearbetad till stränga dimensionstoleranser och fin ytfinish för att säkerställa konsekvent kontakt och försumbar elektriskt motstånd vid kontaktytan.

Med de specifika kraven för halvledarprocesser i åtanke kan Semicorex konstruera anpassade elektroddesigner för att passa alla ugnskonfigurationer och effektspecifikationer. Olika diametrar, längder, typer av anslutningar eller ytfinish kan göras tillgängliga. Vid behov kan beläggningsmaterial, såsom SiC eller pyrolytiskt kol, appliceras för att stödja oxidationsbeständighet och livslängd i miljöer med hög syrehalt eller reaktiva gaser.

Den höga renheten hosgrafitmaterialtjänar till att säkerställa otroligt låga nivåer av metalliska föroreningar (och gasformiga föroreningar), ofta mer än 99,999 % kol. Sådana låga nivåer av föroreningar hjälper till att undvika kontaminering av halvledarskivor under termisk bearbetning. Kombinerat med det betydande djupet av bearbetning och polerad ytfinish möter Semicorex grafitelektroder både den mekaniska och kemiska stabiliteten hos toppmodern teknik för wafertillverkning.

Oavsett om den används i diffusionsugnar, epitaxiella reaktorer eller högtemperaturbehandlingsutrustning, ger Semicorex grafitelektroden oöverträffad prestanda i de mest krävande termiska miljöerna. Genom att kombinera hög renhet, exakt geometri och avancerad materialbearbetning, levererar Semicorex en elektrodlösning som säkerställer stabil strömledning, konsekvent uppvärmning och långsiktig driftsäkerhet som är avgörande för nästa generations halvledartillverkning.